一种以柯恩达效应为原理的GaN防气体冲击装置,包括固定板,所述固定板的上表面固定安装有两个相对称的固定架,两个相对称的固定架之间活动安装有转筒,转筒的外表面开设有风槽,所述转筒的两端均固定安装有卡块。通过转筒、风槽、卡块、连接块与转轴的配合使用,可以有效的将激光在剥离GaN的过程中,利用柯恩达效应原理,将气流都分散到转筒的表面,保证了激光剥离工艺过程中产生的气体不会直接冲击GaN薄膜,对GaN薄膜具有一定的保护作用,同时,由于气流被分散到转筒的外表面,可以有效的保证由激光剥离工艺过程中产生的高温,给予降温,保证了GaN薄膜的使用寿命。
1.一种以柯恩达效应为原理的GaN防气体冲击装置,包括固定板(1),其特征在于:所述固定板(1)的上表面固定安装有两个相对称的固定架(2),两个相对称的固定架(2)之间活动安装有转筒(3),转筒(3)的外表面开设有风槽(4),所述转筒(3)的两端均固定安装有卡块(5);所述转筒(3)的内部通过连接块(6)固定安装有转轴(7),转轴(7)两端的内部活动安装有固定杆(8),固定杆(8)的上端固定安装有连接板(9),连接板(9)的中部活动安装有转盘(10),转盘(10)的中心轴固定安装有转杆(11),转杆(11)的下端搭接有活动框(12),活动框(12)的两侧固定安装有两个相对称的移动条(13),所述移动条(13)远离活动框(12)的一端搭接有两个相对称的限位柱(14),限位柱(14)的上端固定与连接板(9)的上表面固定安装;所述移动条(13)的下表面固定安装有连接杆(15),连接杆(15)的下端螺纹连接有激光器(16)。
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