本发明公开了一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法,系在镀膜基板上利用旋涂光刻胶或粘贴胶带的方法设置凸起的台阶,台阶的高度为5-500ΜM,形成 闭合的边框,在边框围成的区域内滴加溶液利用旋涂法制备薄膜。采用该方法可以大幅度地提高每次旋涂薄膜的厚度,适用于需要制备厚膜的诸多领域,可减少重复 旋涂的次数。本方法工艺简单,操作性强,具有较强的应用价值。
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/tech/sell/s_22613.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们
400-8765-105周一至周五 9:00-18:00
400-8765-105
022-60709568
扫一扫,微信关注钻瓜专利网
行业大牛为您服务 快来咨询~
4008765105 / 022-60709568