本发明公开了一种基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法,在直驱式超精密静压主轴转子的上端面安装高精度标准平晶作为测量基准,高精度标准平晶随主轴转子一起回转,反映主轴的实际回转状态,利用激光动态干涉仪对振动不敏感的特性,实时获取主轴转子回转时端部的高精度标准平晶表面的三维图像,然后将动态干涉仪所采集的图像传输到计算机进行图像分析与处理,并进行运动误差评价,从而实现主轴运动精度的在线测量。本发明可以实现对实际加工状态下的超精密静压主轴转子的动态性能进行实时在线测量,不影响超精密机床的加工过程,同时可反应机床切削加工过程中主轴回转运动规律的生成机理。
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/tech/sell/s_165789.html,转载请声明来源钻瓜专利网。