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[发明专利]静电传感器-CN201410852115.3有效
发明人：王新河;李东琦;王江涛;武文赟;何宇俊;柳鹏;赵清宇;姜开利;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为一维半导体纳米结构，该一维半导体纳米结构的费米面距离态密度奇点的距离在30～300meV，当带有静电的物体靠近该第一传感元件时，该第一传感元件的电阻产生变化；该控制单通过导线于所述至少一个第一传感元件电连接，并通过向所述至少一个第一传感元件施加电压后测量该至少一个第一传感元件的电阻并输出电阻的信号
静电传感器

[发明专利]静电传感器-CN201410850761.6有效
发明人：王新河;李东琦;王江涛;武文赟;何宇俊;柳鹏;赵清宇;姜开利;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为直径小于100纳米的一维半导体纳米结构，当带有静电的物体靠近该第一传感元件时，该第一传感元件的电阻产生变化；该控制单通过导线于所述至少一个第一传感元件电连接，并通过向所述至少一个第一传感元件施加电压后测量该至少一个第一传感元件的电阻并输出电阻的信号
静电传感器

[发明专利]静电传感器-CN201410851166.4有效
发明人：王新河;李东琦;王江涛;武文赟;何宇俊;柳鹏;赵清宇;姜开利;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G06F3/045 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为一单壁或少壁碳纳米管当带有静电的物体靠近该第一传感元件时，该第一传感元件的电阻产生变化；该控制单通过导线于所述至少一个第一传感元件电连接，并通过向所述至少一个第一传感元件施加电压后测量该至少一个第一传感元件的电阻并输出电阻的信号
静电传感器

[发明专利]静电传感器-CN201410851148.6有效
发明人：王新河;李东琦;王江涛;武文赟;何宇俊;柳鹏;赵清宇;姜开利;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为一维半导体纳米结构，该一维半导体纳米结构电导率变化对费米面位置移动的陡率的绝对值约大于10^‑3，当带有静电的物体靠近该第一传感元件时，该第一传感元件的电阻产生变化；该控制单通过导线于所述至少一个第一传感元件电连接，并通过向所述至少一个第一传感元件施加电压后测量该至少一个第一传感元件的电阻并输出电阻的信号。
静电传感器

[发明专利]静电传感器-CN201880081959.9有效
发明人：藤由达巳 -专利权人：阿尔卑斯阿尔派株式会社
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：静电传感器对接近的被检测物的位置进行检测，其特征在于，所述静电传感器具有第一电极组，其具有多个电极；第二电极组，其具有多个与第一电极组的电极相邻的电极；检测电路，其与从第一电极组的电极以及第二电极组的电极选择出的电极分别连接
静电传感器

[外观设计]静电传感器-CN201730682582.0有效
发明人：孙卫星;杨庆瑞;李鹏 -专利权人：上海安平静电科技有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：静电传感器。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于静电检测的传感器。3．本外观设计产品的设计要点：产品的外部形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。
外观设计静电传感器静电检测外部形状传感器图片

[外观设计]静电传感器-CN202030643959.3有效
发明人：昝鹏;郝少平 -专利权人：上海颀普静电科技有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：静电传感器。2.本外观设计产品的用途：用于静电检测的传感器。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
静电传感器

[外观设计]静电传感器-CN202130718658.7有效
发明人：孙卫星;叶斌斌;杨荣斌 -专利权人：上海安平静电科技有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：静电传感器。2.本外观设计产品的用途：用于静电检测的静电传感器。3.本外观设计产品的设计要点：在于其壳体形状的设计。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
静电传感器

[发明专利]静电传感器-CN200980000380.6无效
发明人：齐藤孝一;平川雅也;小林裕司 -专利权人：罗姆股份有限公司
申请日： 2009-04-01 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G06F3/02 文献下载
摘要：对多个按钮(B1～B3)分别分配多个传感器电容(Cd)。多个传感器电容分别被分配给多个通道的一者。电容检测部对多个通道分别检测分配给它的传感器电容的合成电容。译码器对从比较部输出的各通道的二值数字信号进行译码，判定各开关的接通、断开。
静电传感器

[实用新型]一种基于静电感应气固两相流流速测量的环状探头-CN201822235914.2有效
发明人：竺森林;边成利;包文运;王飞;沈德魁;吴晔;胡建垠;丁战;崔依冬;王启昌 -专利权人：大唐环境产业集团股份有限公司;东南大学
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G01N11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于静电感应气固两相流流速测量的环状探头，该探头包括：第一静电传感器，其套设在绝缘管的外表面上；第二静电传感器，其平行于第一静电传感器设置且套设在绝缘管的外表面上；第一静电传感器和第二静电传感器均垂直于来流方向；外壳，其将第一静电传感器、绝缘管和第二静电传感器完全包覆在其内部；屏蔽电缆，其分别与第一静电传感器和第二静电传感器信号连接。本实用新型的有益效果为：首先，本实用新型所述环状探头无需外接电源，仅需将第一静电传感器和第二静电传感器捕捉的信号传递出来即可；其次，由于第一静电传感器和第二静电传感器并未与气固两相流直接接触，一方面保证了信号的稳定性
静电传感器探头本实用新型气固两相流绝缘管静电感应流速测量屏蔽电缆外接电源完全包覆信号传递信号连接耐用性平行保证捕捉垂直

[实用新型]一种航空发动机气路在线监测的静电传感器标定装置-CN202120268083.8有效
发明人：胡宇;郭彦强;孙振生;徐志高;朱杰堂;张寅;吴峰 -专利权人：中国人民解放军火箭军工程大学
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于航空发动机气路在线监测的静电传感器标定装置，其特征在于：所述装置由油滴滴定装置、真空桶盖、等效电容模块、等效电容器定位机构、环状静电传感器、第一固定定位模块、针状静电传感器，第二固定定位模块、法拉第桶模块、真空桶、固定支架模块、静电传感器数据终端、直流电源和真空泵模块组成；通过对标定装置的静电传感器进行多次标定；改变针状静电传感器、环状静电传感器与油滴滴落轨迹的相对位置以及油滴的电荷量大小，针状静电传感器与环状静电传感器以及法拉第桶采集的信号形成试验对照组，进而分别对针状和环状静电传感器获取油滴静电信号的可靠性、灵敏度、准确性等进行研究；同时为研究油滴轨迹偏离静电传感器探头中心轴线时对获取信号的影响提供数据支撑
一种航空发动机在线监测静电传感器标定装置

[发明专利]一种判断静电传感器工作是否正常的方法-CN201911405918.3有效
发明人：孙卫星;杨庆瑞;罗先军;李鹏 -专利权人：上海安平静电科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01R29/12 文献下载
摘要：一种判断静电传感器工作是否正常的方法，属静电测量领域。在静电传感器中设置单片机模块，对静电传感器的工作电压、工作频率进行实时监控，使得静电传感器具有自动检查工作电压是否正常或正确，以及自我监测振动电极的振动频率是否正确，并自动校正振动频率维持在设定检测频率的功能确保静电传感器始终处于有效的监测状态下，当其丧失静电检测能力时，即时报警输出。可广泛用于静电传感器的设计和制造领域。
一种判断静电传感器工作是否正常方法

[发明专利]对晶圆腔室的间隙进行检测的晶圆式间隙检测传感器-CN201810834572.8在审
发明人：金镇泰;梁会昌 -专利权人：机体爱思艾姆有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种对晶圆腔室的间隙进行检测的晶圆式间隙检测传感器，包括：基板外壳，以晶圆形状构成；静电传感器组件，包括与上述基板外壳相互间隔一定距离安装的第1静电传感器部以及第2静电传感器部；电源供应部，用于向上述静电传感器组件供应电源；以及，控制部，以从上述第1静电传感器部获取到的第1电容值为基础获取第1静电传感器部与腔室内部喷头之间的第1距离信息，以从上述第2静电传感器部获取到的第2电容值为基础获取第2静电传感器部与腔室内部喷头之间的第
静电传感器晶圆距离信息间隙检测传感器喷头基板外壳腔室内部电容腔室电源供应部间隙信息组件供应检测电源

[发明专利]一种静电传感器循环测试装置-CN202010695679.6有效
发明人：黄漫国;刘艺;刘太丽;刘德峰;刘伟;高云端 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;中航高科智能测控有限公司;北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电传感器循环测试装置，属于静电感应类传感器技术；包括物体荷电装置、物体传送装置、静电传感器支撑定位装置、物体电荷量测量装置；与现有技术相比，可以实现对静电感应类传感器的定量测试，对同一带电物体的循环测试，对静电传感器不同位置感应特性测试，对不同类型静电传感器的对比测试等各种静电类传感器所需测试，具有荷电充分、循环测试、定量表征、节省物料、稳定可靠、可进行测试项目多等技术效果，为静电传感器结构优化设计和监测系统性能提升以及监测信号分析处理提供依据
一种静电传感器循环测试装置

[发明专利]一种检测静电传感器响应速率的方法及装置-CN202011637230.0在审
发明人：孙卫星;杨庆瑞;李鹏;罗先军 -专利权人：上海安平静电科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：一种检测静电传感器响应速率的方法及装置，属测试领域。包括：分析生产现场物料运动及带电情况；建立现场物体运动带电模型；根据运动带电模型搭建试验装置；根据静电传感器使用场景选择试验带电模型；启动测试装置，输出与选择的试验带电模型对应的标准电压波形；监测静电传感器检测输出波形；实时对静电传感器检测输出波形和标准电压输出波形进行对比、分析和判断；得出静电传感器最高响应速率。其通过比较标准电压波形与传感器检测输出的电压波形之间的相位延迟，来判断静电传感器响应频率，只须监测到两波形峰值处的时间值，做简单的加减运算即可得出结论，省去了复杂的编程运算，简单便捷可靠性高。可广泛用于静电传感器产品的检测领域。
一种检测静电传感器响应速率方法装置

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