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[发明专利]粒子射线治疗装置-CN201010178098.1有效
发明人：蒲越虎 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2010-05-11 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明提供一种粒子射线治疗装置，即使在所需的束能量变更次数较多的情况下，也无需增大偏转电磁铁，而可以高速地变更束能量。其设置有多个具备束能量衰减部的束能量变更部，以使束依次通过多个束能量变更部的方式，使束偏转。在束通过一个束能量变更部的期间，变更其他束能量变更部的束能量衰减量。
粒子射线治疗装置

[发明专利]高能量离子注入装置-CN201410171492.0有效
发明人：椛泽光昭;渡边一浩;佐佐木玄;加藤浩二;安藤一志 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供一种高能量离子注入装置，精度良好地将已扫描的高能量离子束平行化。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片射束传输线单元具有射束整形器、高能量用射束扫描器、高能量用射束平行化器及高能量用最终能量过滤器。并且，高能量用射束平行化器为通过电场重复高能量射束的加速和减速并且将扫描束平行化的电场式射束平行化器。
射束高能量高能量离子平行化器注入装置传输线单元电场平行化晶片扫描质量分析装置过滤器偏转多段直线方向转换加速单元偏转单元射束整形生成单元最终能量离子源扫描器减速传输重复

[发明专利]使用电磁波对齐的无线能量传输-CN201580057705.X在审
发明人：詹姆斯·斯图尔特·怀特;罗尼·埃夫丽尔多·阿马娅;凯扎瑞·保罗·斯拉比 -专利权人：泰斯尼克斯公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： H02J50/80 文献下载
摘要：一种用于无线能量转移的方法包括形成多个能量束。每一个能量束包括一个或多个电磁(EM)波，每一个EM波与所述多个能量束中的另一个能量束的另一个EM波具有相同的基频。跟踪可通电设备对入射到其上的多个能量束的设备响应。对多个能量束中的每一个能量束的一个或多个EM波进行定向以对可通电设备供电。将能量束中的至少一个能量束的一个或多个EM波的相应相位与能量束中的另一个能量束的另一个EM波的另一相位对齐。通过针对能量束中的至少一个能量束优化一个或多个EM波的定向和相位的对齐，来根据设备响应使可通电设备接收的接收功率水平最大化。
使用电磁波对齐无线能量传输

[发明专利]一种医用直线加速器的光子能量合成方法及系统-CN201811312180.1有效
发明人：刘博;吴秋文;张喜乐;周付根 -专利权人：吴秋文;刘博;周付根
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明涉及医用直线加速器的光子能量合成方法及系统，其中，医用直线加速器的光子能量合成方法，包括以下步骤：获取第一能量光子束剂量学数据、第二能量光子束剂量学数据以及中间能量光子束剂量学数据；根据预设的拟合系数对第一能量光子束剂量学数据和第二能量光子束剂量学数据进行数学拟合，得到合成能量光子束剂量学数据；对合成能量光子束剂量学数据与中间能量光子束剂量学数据进行比较验证，得到剂量学数据拟合偏差；将剂量学数据拟合偏差与预设阈值进行比较，得到比较结果。在本发明的技术方案中，能够利用高低两档能量的光子束合成与这两种能量范围内任意能量光子束束流特性相近的光子束。
一种医用直线加速器光子能量合成方法系统

[发明专利]高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置-CN201410181511.8有效
发明人：椛泽光昭;西原达生;渡边一浩;高桥裕二;山田达也 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-30 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供具有能量宽度的射束的高精度能量分析技术。本发明的高能量精度的高频加速式离子加速/传输装置为通过相对于设定射束能量具有能量宽度即能量分布的高频加速式加速系统进行离子束的加速后的射束线，且具备能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件。离子加速/传输装置进一步在通过能量分析用偏转电磁铁和横向射束会聚要件而使得能量分散和射束尺寸适当的位置，设置有包括能量宽度限制狭缝和能量分析狭缝的双狭缝，双狭缝进行能量分离和能量限制，通过一边抑制束电流量的减少，一边调整为更小的能量宽度，从而缩小离子束的能量宽度来实现所需能量精度。
高能量精度高频加速离子传输装置

[发明专利]高能量离子注入装置-CN201410171523.2有效
发明人：椛泽光昭;渡边一浩;佐佐木玄;稻田耕二 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种高能量离子注入装置，通过电场对高能量的离子束进行扫描、平行化及过滤。本发明的高能量离子注入装置(100)具备高能量多段直线加速单元(14)，对离子束进行加速而生成高能量离子束；偏转单元(16)，将高能量离子束朝向半导体晶片进行方向转换；及射束传输线单元(18)，将已偏转的高能量离子束传输到晶片射束传输线单元(18)具有射束整形器(32)、高能量用射束扫描器(34)、高能量用电场式射束平行化器(36)及电场式最终能量过滤器(38)。
高能量离子注入装置

[发明专利]离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法-CN201510104340.3有效
发明人：佐佐木玄;渡边一浩;狩谷宏行 -专利权人：斯伊恩股份有限公司
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种离子注入装置、射束能量测定装置以及射束能量测定方法。在离子注入装置中测定离子束的能量。离子注入装置(100)中的射束能量测定装置(200)具备：平行度测定部(202)，在离子注入装置(100)的射束平行化器(36)的下游测定离子束的平行度；及能量运算部(204)，由测定出的平行度运算离子束的能量离子注入装置(100)还可以具备控制部，该控制部根据运算出的离子束的能量控制高能量多段直线加速单元(14)，以使离子束具有目标能量。
离子注入装置能量测定以及方法

[发明专利]用来在基体上沉积涂层的系统及方法-CN201710307647.2在审
发明人：刘勇;吴建平;吴勇;武颖娜;陈晓宾 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2017-05-04 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C24/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种用用来在基体上沉积涂层的系统及方法，其系统包括能量源和电火花沉积装置。所述能量源用来提供能量束，该能量束选自激光束、电子束、离子束和它们的组合。所述电火花沉积装置包括能量束通道、送粉通道和电极，其中，所述能量束通道用来让所述能量束通过，所述送粉通道用来输送可沉积于所述基体上形成沉积涂层的粉末材料，所述电极内设有与所述能量束通道和送粉通道相通的共同通道，该共同通道可让所述粉末材料和所述能量束从其中通过后进入所述电极和所述基体之间的放电间隙，并且使得所述粉末材料在通过该共同通道的过程中至少部分被所述能量束熔化。
能量束沉积涂层粉末材料电极送粉电火花沉积能量源电子束熔化放电间隙激光束离子束沉积相通

[发明专利]用能量射束照射材料的方法和装置-CN201980072754.9在审
发明人： A·维特;P·霍尔费尔德 -专利权人： EOS有限公司电镀光纤系统
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B23K26/062 文献下载
摘要：描述了一种用至少一个能量射束(AL)照射材料(13)的方法和为此可使用的照射装置(20)，其尤其是用于局部地熔融材料(13)，其中，能量射束(AL)的照射面(AF)在材料(13)上运动。在此生成至少一个第一能量射束(EL1)和第二能量射束(EL2)，第二能量射束(EL2)相对于第一能量射束(EL1)运动并且第一能量射束(EL1)和第二能量射束(EL2)在共同的光路(SA)中耦入能量射束运动单元(23)，使它们共同作为组合能量射束(AL)在材料(13)上运动。
能量照射材料方法装置

[发明专利]多着陆能量扫描电子显微镜系统和方法-CN202080053876.6在审
发明人：方伟;任伟明;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-07-18 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：检查系统可以包括被配置为提供第一着陆能量束的第一能量源和被配置为提供第二着陆能量束的第二能量源。检查系统还可以包括束控制器，该束控制器被配置为朝向相同的视场选择性地递送第一着陆能量束和第二着陆能量束中的一项，并且根据检查系统的操作模式在第一着陆能量束的和第二着陆能量束的递送之间切换。
着陆能量扫描电子显微镜系统方法

[发明专利]波束成形器、退火系统、热处理法和半导体装置制造方法-CN201310432062.5有效
发明人：金尚炫;查理·罗蒙;朴钟主;李东根;金成洙 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G03F1/24 文献下载
摘要：所述处理系统包括：能量源，产生沿着能量束路径发射的能量束。波束截面成形器沿着能量束路径布置，接收入射能量束并修改入射能量束的截面形状以输出形状修改的能量束。波束强度成形器沿着能量束路径布置，接收具有第一强度轮廓的入射能量束并输出具有第二强度轮廓的强度被修改的能量束，其中，所述第一强度轮廓在其中心区域具有相对最大平均强度，第二强度轮廓在其中心区域具有相对最小平均强度
波束成形退火系统热处理半导体装置制造方法

[发明专利]用于射束能量测量的方法和装置-CN201910123841.4在审
发明人：戴维·罗伯茨;雅努什·哈拉西莫维卡兹;彼得·多尔蒂;马克·斯特朗格曼 -专利权人：医科达有限公司
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： G01T1/16 文献下载
摘要：公开了用于射束能量测量的方法和装置。用于测量从辐射束源输出的辐射束能量的装置包括：第一射束能量传感器，其位于沿着辐射束轴线距辐射束源第一距离处；第二射束能量传感器，其位于沿着所述辐射束轴线距所述辐射束源第二距离处；以及位于所述第一传感器与第二传感器之间的能量吸收层，例如去除射束的一部分低能量成分的层或吸收至少1％射束能量的层，并且被定位成使得穿过所述第一传感器的辐射在进入所述第二传感器之前也穿过所述能量吸收层。
辐射束射束第二传感器第一传感器方法和装置能量传感器能量吸收层能量测量穿过低能量源输出去除测量辐射吸收

[发明专利]使用能量束的表面加工设备及表面加工方法-CN202111624621.3在审
发明人：陈稺榤;张高德;翁志强;李祐昇 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种使用能量束的表面加工设备，包括测量装置、气体源、能量束提供装置、多轴承载平台以及处理装置。测量装置用于测量工件以获得面形信息。能量束提供装置用于接收加工气体以形成为能量束。能量束提供装置包括旋转套管。多个开口位于旋转套管的底面。旋转套管用于沿旋转轴线旋转并从多个开口的其中之一提供能量束至工件。处理装置依据面形信息控制气体源、能量束提供装置以及多轴承载平台，其中各个开口至旋转轴线的距离都不同。能量束通过能量束提供装置的旋转而形成为束状或多个半径不同的环状的其中一者。
使用能量表面加工设备方法

[发明专利]加热产生均匀熔池的装置-CN201610007878.7有效
发明人：黄光瑶;黄建融;陈坤坐;古淳仁 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开一种加热产生均匀熔池的装置，其包括：产生能量束的来源单元；位于该能量束的能量路径中以调整该能量束的直径的缩扩束单元；位于该能量路径中的平顶锥状透镜组，且该缩扩束单元位于产生该能量束的来源单元与该平顶锥状透镜组之间，而该平顶锥状透镜组至少包含二平顶锥状透镜；以及位于该能量束的能量路径中的聚焦透镜，且该平顶锥状透镜组是位于该缩扩束单元与该聚焦透镜之间，而该聚焦透镜将该能量束聚焦。
加热产生均匀熔池装置

[实用新型]质子束流能量调整装置及质子光子联合治疗设备-CN202122592060.5有效
发明人：甄永杰;姚毅 -专利权人：苏州雷泰医疗科技有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本实用新型公开质子束流能量调整装置及质子光子联合治疗设备，质子束流能量调整装置设置于回旋质子加速器质子束流的引出端，包括：调整装置本体以及设置于调整装置本体上的能量调整部，能量调整部用于将经过其的质子束流调整至合适能量，本实用新型该公开包括该质子束流能量调整装置的质子光子联合治疗设备，质子束流能量调整装置可以有效将固定能量的质子束流调整到合适能量的质子束流，以满足临床上对不同深度肿瘤精确放射治疗的需求,实现质子光子的联合治疗
质子能量调整装置光子联合治疗设备

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