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- [发明专利]研磨量估计装置-CN202180009942.4在审
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羽根幹人
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发那科株式会社
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2021-01-13
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2022-09-06
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B24B27/00
- 提供一种能够使研磨作业中的示教轨道、力控制的参数设定容易化的研磨量估计装置。一种研磨量估计装置(50),估计通过力控制使搭载于机器人操纵器的研磨工具与对象工件接触来进行的研磨作业中的研磨量,所述研磨量估计装置(50)具备:存储部,其存储动作程序;以及研磨量估计部(56),其基于根据所述动作程序而获得的所述研磨工具的动作轨道、所述研磨工具的动作速度以及所述研磨工具对所述对象工件的按压力中的至少一者,来估计所述研磨量。
- 研磨估计装置
- [发明专利]研磨装置及记录介质-CN202110672653.4在审
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中村显;铃木佑多;关山俊介
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株式会社荏原制作所
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2021-06-17
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2022-01-04
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B24B37/013
- 一种研磨装置及记录介质,即使研磨的状况变化也能推定研磨中的对象时刻的参数。研磨装置具有:生成部,该生成部使用与研磨中的对象时刻的研磨部件和对象基板之间的摩擦力有关的数据、或者研磨部件或对象基板的温度的测定数据生成特征量;以及推定部,该推定部对使用学习用数据组完成学习的机器学习模型至少输入通过该生成部生成的特征量,输出对象基板的研磨中的对象时刻的研磨量或残余膜量的推定值,该学习用数据组在输入中包括基于与研磨中的各时刻的研磨部件和基板之间的摩擦力有关的数据的特征量、或基于研磨部件或基板的温度的测定数据的特征量,将至少使用研磨后测定出的膜厚推定的研磨中的各时刻的研磨量或残余膜量作为输出
- 研磨装置记录介质
- [发明专利]一种用于晶圆平坦化生产的化学机械研磨方法-CN201410203461.9在审
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李杨
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和舰科技(苏州)有限公司
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2014-05-14
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2015-11-25
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B24B37/04
- 一种用于晶圆平坦化生产的化学机械研磨方法,包括如下步骤:提供一种化学机械研磨机;将待研磨的晶圆置入装载平台;晶圆进入第一研磨平台,使用第一选择比研磨液根据预定的研磨时间和研磨量进行研磨;晶圆进入第二研磨平台,使用第二选择比研磨液根据预定的研磨时间和研磨量进行研磨;所述第二选择比大于第一选择比;晶圆进入第三研磨平台,使用高选择比研磨液根据预定的研磨时间和研磨量进行研磨;冲洗;晶圆转至卸载平台。其中,通过预先生产两批次的晶圆产品后,根据前量及后量的对应关系在高级制程控制系统中建立起对应的研磨量。本发明提供的用于晶圆平坦化生产的化学机械研磨方法,在保证产品质量的前提下,大大提高了CMP的生产效率。
- 一种用于平坦化生化学机械研磨方法
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