“电子束蒸发设备”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6557345个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备-CN202220418232.9有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，包括真空容器，真空容器内部形成有放卷室、蒸发镀膜室一、蒸发镀膜室二和收卷室，放卷室输出薄膜基材经过蒸发镀膜室一和蒸发镀膜室二后进入收卷室中复卷，蒸发镀膜室一设有镀膜辊一和电子束蒸发镀膜器一，蒸发镀膜室二设有镀膜辊二和电子束蒸发镀膜器二，薄膜基材绕过镀膜辊一和镀膜辊二使其正反两面分别与电子束蒸发镀膜器一和电子束蒸发镀膜器二对应。本实用新型提供一种电子束蒸发双面镀膜的卷对卷设备，采用电子束加热膜材，加热功率大，热能量集中且能量大，能蒸发各种难熔金属及非金属材料，采用双镀膜辊双电子束加热蒸发镀膜实现薄膜基材的连续双面镀膜。
一种电子束蒸发双面镀膜设备

[发明专利]磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备-CN201910531293.9在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备，包括真空室，位于真空室内的工件固定架，安装在工件固定架上的磁材工件，位于真空室内的电子束蒸发源和离子源；离子源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源和磁材工件相对移动或转动，离子源和磁材工件相对移动或转动。设备采用电子束蒸发源进行蒸发镀膜，实现铽或镝原材料在真空环境下被电子束轰击产生热能熔化挥发并在磁材工件表面沉积成膜，这种设备结构均较简单，很容易形成产业化生产应用，属于磁材表面镀铽或镀镝的技术领域。
磁材电子束蒸发源离子源磁性材料表面工件固定架喷射方向相对移动转动蒸发熔化室内产业化生产电子束轰击工件表面设备结构真空环境蒸发镀膜表面镀真空室成膜挥发沉积应用

[实用新型]磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备-CN201920924105.4有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备，包括真空室，位于真空室内的工件固定架，安装在工件固定架上的磁材工件，位于真空室内的电子束蒸发源和离子源；离子源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源和磁材工件相对移动或转动，离子源和磁材工件相对移动或转动。设备采用电子束蒸发源进行蒸发镀膜，实现铽或镝原材料在真空环境下被电子束轰击产生热能熔化挥发并在磁材工件表面沉积成膜，这种设备结构均较简单，很容易形成产业化生产应用，属于磁材表面镀铽或镀镝的技术领域。
磁性材料表面蒸发设备

[发明专利]双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置-CN202010040956.X在审
发明人：郭锦龙;程云立;马华;付久龙;武金魁 -专利权人：长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置，包括多功能室、电子束蒸发室、真空抽气系统及控制系统，所述多功能室与所述电子束蒸发室连通设置，两室之间通过插板阀隔离；所述真空抽气系统对所述多功能室与所述电子束蒸发室进行抽真空，所述多功能室、电子束蒸发室、真空抽气系统与控制系统电性连接。采用本发明提供的双真空室大功率电子束蒸发连续镀膜装置，能够保证电子枪装置及坩埚装置始终处于真空环境，使坩埚中高温熔融状态的金属材料不被空气氧化，减少因等待坩埚冷却所需要的时间及大量的抽气时间，大幅提高生产效率
真空大功率电子束蒸发连续镀膜装置

[实用新型]一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构-CN202021011528.6有效
发明人：马溢华 -专利权人：无锡芯谱半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型属于电子束蒸发台技术领域，尤其是一种电子束蒸发台机械齿轮传动结构，现提出如下方案，其包括电子束蒸发台，所述电子束蒸发台上设置有用于连接外部动力结构的驱动轴，所述电子束蒸发台的一侧孤固定安装有防护座，且防护座上开设有防护腔，所述驱动轴的一端延伸至防护腔内并固定套设有驱动齿轮；本实用新型的电子束蒸发台的传动结构设计简单巧妙，通过启动旋转电机，可以实现了对第一调速齿轮和第二调速齿轮进行纵向移动，而当第一调速齿轮或者第二调速齿轮和驱动齿轮相啮合的不同传动部件，可以达到带动驱动齿轮转动的速度也不相同，进而可以实现了电子束蒸发台根据使用需求进行调速的目的。
一种电子束蒸发机械齿轮传动结构

[实用新型]一种应用于LED光源设备的高反射镜面金属带材-CN201821219431.7有效
发明人：眭凌杰;叶德光;杨兴磊;孙伟明 -专利权人：福建新越金属材料科技有限公司
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： F21V7/28 文献下载
摘要：本实用新型公开的是一种应用于LED光源设备的高反射镜面金属带材，包括基材，所述基材的表面包覆有一均匀的反射膜层，所述反射膜层从下到上依次包括：阳极氧化膜层、粘合膜层和电子束蒸发金属膜层，所述电子束蒸发金属膜层由下而上依次包括：电子束蒸发铝膜层、电子束蒸发二氧化硅膜层以及电子束蒸发氧化钛膜层。
电子束蒸发金属膜层本实用新型反射膜层镜面金属高反射带材基材二氧化硅膜层阳极氧化膜层高反射材料氧化钛膜层电耗表面包覆粘合膜层反射率铝膜层内壁光光效能效反射应用节能

[发明专利]蓝光波段非对称超材料偏振调控器及其制造方法-CN202010471047.1有效
发明人：杜庆国;陈志伟;李政颖;任芳芳 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种蓝光波段非对称超材料偏振调控器，它的硅基层的顶面通过电子束蒸发沉积法和电子束刻蚀工艺制备第二金属光栅层，第二金属光栅层的顶面通过电子束蒸发沉积法制备第二低折射率介电材料层，第二低折射率介电材料层的顶面通过电子束蒸发沉积法和电子束刻蚀工艺制备图形化的高折射率介电材料偏振转换层，图形化的高折射率介电材料偏振转换层的顶面通过电子束蒸发沉积法制备第一低折射率介电材料层，第一低折射率介电材料层的顶面通过电子束蒸发沉积法和电子束刻蚀工艺制备第一金属光栅层；本发明能解决透射率小，偏振转换率低的问题
波段对称材料偏振调控及其制造方法

[发明专利]反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法-CN202211639123.0在审
发明人：蒋泉权;莫海亮 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：：步骤一，粗加工；步骤二，清洁反光镜的表面并保存；步骤三，清洁真空镀膜机；步骤四，将纯度大于99.99％镍和纯度大于99.99％磷分别放入两个不同的坩埚；步骤五，把反射镜悬挂在真空镀膜机内，坩埚摆放在电子束蒸发器上；抽真空并用电子束蒸发器对坩埚进行加热，摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为400毫安，摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为200毫安；且摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的工作时长比为
反射表面结合不同合金改善粗糙方法

[发明专利]一种热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法-CN202011198992.5在审
发明人：沈月;韩志勇;刘延宽;靖珍珠;韩剑 -专利权人：中国民航大学
申请日： 2020-10-31 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：其包括采用铝颗粒作为靶材；利用电子束蒸发镀膜设备对CoCrAlY结合层的表面进行电子束蒸发镀膜形成铝膜；利用强流脉冲电子束设备对表面覆有铝膜的CoCrAlY结合层进行轰击而形成抗氧化层等步骤。本发明提供的热障涂层中CoCrAlY结合层表面抗氧化层的制备方法具有如下优点：本发明在不影响涂层力学性能前提下，通过电子束蒸发镀铝结合电子束轰击重熔处理，通过改变CoCrAlY结合层表面的成分和结构，形成保护性氧化铝膜来抑制脆性热生长氧化物生成的方法
一种热障涂层 cocraly 结合表面氧化制备方法

[实用新型]改进型的活化反应离子镀试验装置-CN201620480113.0有效
发明人：杨嘉嘉;杨文志;陈招燕;程亚丽 -专利权人：中山市万物文化发展有限公司
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：设于所述的真空反应室旁的供电单元，其特征在于：所述的真空反应室内设有差压分隔板，该差压分隔板使所述的真空反应室形成第一反应室及第二反应室，所述的第一反应室室壁上设有真空控制机组，所述的差压分隔板上设有电子束蒸发单元及电子流体放射装置，所述的电子束蒸发单元上侧设有反应气体循环，其中，所述的电子流体放射装置与所述的电子束蒸发单元连接，所述的电子束蒸发单元将镀料蒸发原子束流传至反应气体循环。
改进型活化反应离子镀试验装置

[实用新型]一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备-CN202221308444.8有效
发明人：孔令镇;麦耀华;朱红兵;沈凯;吴绍航;顾垂风;阮汉飞 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备，一种蒸发钳锅，包括底座和设于底座的锅体，底座设有驱动机构和水冷盖板，该驱动机构连接有转臂和转轴，驱动机构驱动转轴转动，转轴带动转臂转动，转臂与水冷盖板连接一种电子束蒸发镀膜设备，包括上述的蒸发钳锅。本实用新型提供一种蒸发钳锅及电子束蒸发卷绕镀膜设备，蒸发钳锅在镀膜结束后盖上水冷盖板，可快速阻断钳锅温度对镀膜基材的影响，简化常规镀膜设备的边跑膜边降温的操作，提高生产效率。
一种蒸发坩埚电子束卷绕镀膜设备

[发明专利]P型氮化镓电极的制备方法-CN200610114190.5无效
发明人：陈宇;王良臣;伊晓燕 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2006-11-01 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：一种P型氮化镓电极的制备方法，包括如下步骤：在蓝宝石衬底上外延Mg掺杂P型氮化镓基体；在Mg掺杂P－GaN基体上电子束蒸发半透明电极欧姆接触层Ru/Ni；在半透明电极欧姆接触层Ru/Ni上电子束蒸发一层粘附层Ni；在粘附层Ni上电子束蒸发一层高发射镜Ag；在高发射镜Ag上电子束蒸发一层阻挡层Pt；在阻挡层Pt上键合保护层Au，其作用是防止金属电极的氧化和污染。
氮化电极制备方法

[发明专利]综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法-CN201810140027.9有效
发明人：朱美萍;曾婷婷;邵建达;易葵;孙建;李静平;王建国;张伟丽 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法，设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及离子束溅射沉积技术的优点，不但能够提高膜层质量，而且能够提高镀膜效率、降低镀膜成本。
综合沉积镀膜设备方法

[发明专利]一种利用电子束蒸发镀膜机实现渐变色电镀的装置及其镀膜方法-CN201810313478.8在审
发明人：盘永瑞;谭桂华 -专利权人：东莞市瑞得光电科技有限公司;东莞德诚高分子材料有限公司
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及光学镀膜技术领域，具体涉及一种利用电子束蒸发镀膜机实现渐变色电镀的装置及其镀膜方法。该利用电子束蒸发镀膜机实现渐变色电镀的装置，包括若干个由三片金属片焊接形成的三角形治具，三角形治具的腰部与底部呈一定夹角，三角形治具底部固定在电子束蒸发镀膜机的转架上，任意两个三角形治具之间呈一定的距离该镀膜方法，基于该利用电子束蒸发镀膜机实现渐变色电镀的装置，将待镀膜产品的周边抽成真空，然后利用电子束蒸发镀膜机镀膜。通过将待镀膜的产品安装于具有一定倾斜角度的治具上，在转架的带动下，采用电子束蒸发镀膜机进行镀膜，实现渐变色电镀。
电子束蒸发镀膜机镀膜治具电镀渐变色镀膜产品腰部转架产品安装抽成真空光学镀膜三片金属外侧面磁铁胶纸焊接

[发明专利]电子束蒸发源及真空蒸镀装置-CN201580003277.2有效
发明人：后田以诚;矢岛太郎;矶野坚一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种能够对在较大范围飞散的反射电子稳定地进行捕捉的电子束蒸发源及具有该电子束蒸发源的真空蒸镀装置。该电子束蒸发源具有蒸发材料保持部、电子枪和磁路部。所述蒸发材料保持部具有能够保持第1蒸发材料的第1保持区域。所述电子枪与所述第1保持区域在所述第1轴方向排列配置，能够对所述第1保持区域射出电子束。所述磁路部具有：磁性板，其由软磁性材料构成；和反射电子偏转部件，其能够使所述电子束由第1蒸发材料反射后的反射电子向所述磁性板偏转，该磁路部与所述电子枪隔着所述第1保持区域而在第1轴方向排列配置。
电子束蒸发真空装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条