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[发明专利]清洗部件的清洗装置、基板清洗装置及清洗部件组件-CN202110333492.6在审
发明人：梶川敬之;饭泉健;今井正芳 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：作为本发明的一方式，清洗部件的清洗装置具有：保持虚设基板(Wd)的基板支承部(200)；保持具有清洗部件(90)的清洗部件组件(1)的保持部(100)；使所述清洗部件旋转的部件旋转部(80)；向所述清洗部件内供给清洗液的内清洗液供给部(110)；从所述清洗部件外供给清洗液的外清洗液供给部(120)；进行控制，以进行一边以第一压力将所述清洗部件按压于所述虚设基板一边从所述外清洗液供给部向虚设基板供给清洗液的第一处理和一边使所述清洗部件从所述虚设基板离开或以第一压力以下的第二压力将所述清洗部件按压于所述基板一边从内清洗液供给部供给清洗液的第二处理的控制部
清洗部件装置组件

[发明专利]清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置-CN202010079458.6在审
发明人：鱼住修司;丸山徹;本岛靖之 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-02-04 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置，在清洗部件安装部(10)的表面安装有清洗部件(90)。清洗部件安装部(10)具有：主体(20)；清洗液导入部(30)，该清洗液导入部在所述主体(20)的内部延伸；以及多个清洗液供给孔(40)，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部(30)连通。所述清洗液导入部(30)构成为所述清洗液从第一端部(11)侧流入，位于与所述第一端部(11)相反一侧的第二端部(12)侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所(40)占据的所述主体(20)的表面的面积比大于位于所述第一端部(11)侧的第一区域中的所述清洗液供给孔(40)所占据的所述主体(20)的表面的面积比。
清洗部件安装组件以及装置

[发明专利]部件清洗装置-CN202010832196.6在审
发明人：方鑫 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门本发明解决作业人员容易被强酸伤害和清洗过程中部件容易掉落的问题。
部件清洗装置

[发明专利]部件清洗方法-CN201880078655.7有效
发明人：汤姆·桑德斯 -专利权人：安全溶剂欧洲有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C11D11/00 文献下载
摘要：本发明描述了部件清洗方法。该方法包括：(a)在小于45摄氏度的温度下在接触区中使部件与水性液体清洁组合物接触，其中水性液体清洁组合物包含至少一种烷氧基化物表面活性剂；(b)使至少部分水性液体清洁组合物从接触区进入分离壳体；(c)
部件清洗方法

[发明专利]清洗部件安装机构及基板清洗装置-CN202110614631.2在审
发明人：宫崎充;藤本友章;井上拓也 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：一种清洗部件安装机构及基板清洗装置，清洗部件安装机构具有：清洗部件保持部(200)，该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板(W)进行清洗的清洗部件的清洗部件组件(100)；部件旋转部(180)，该部件旋转部使由所述清洗部件保持部(200)保持的所述清洗部件组件(100)旋转；以及移动部(150)，该移动部使所述清洗部件保持部(200)以拆卸了所述清洗部件组件(100)的状态沿着轴向进行移动，并且定位于限制所述清洗部件保持部(200
清洗部件安装机构装置

[发明专利]家用玻璃清洗器-CN201811572577.4有效
发明人：岑露明 -专利权人：宁波市弘露电子商务有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： A47L1/02 文献下载
摘要：本发明属于清洁工具技术领域，具体公开了一种家用玻璃清洗器，包括基座和清洗机构，清洗机构位于基座上方，基座与清洗机构间连接有支撑杆，清洗机构包括清洗用的清洗部件、定位部件和驱动部件，清洗部件与夹持部件可拆卸连接，定位部件包括夹板、空心的连接杆和内置于连接杆的转轴，夹板与转轴一端铰接，连接杆螺纹连接有转轮，驱动部件控制定位部件对清洗部件自动夹持，同时控制清洗部件自动清洗。采用本技术方案，通过驱动部件控制清洗部件自动清洗，操作方便，同时能够使水箱中的水自动对清洗部件加水，清洗效率高。
家用玻璃清洗

[发明专利]基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置-CN202110147106.4在审
发明人：田中英明 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开一种基板清洗装置，该基板清洗装置使基板旋转，并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板。基板清洗装置具有：自清洁部件，该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂，与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗；以及移动机构，该移动机构设置于支承所述清洗部件的臂，使所述自清洁部件在与所述清洗部件接触的位置和从所述清洗部件离开的位置之间移动
清洗装置方法以及处理

[发明专利]基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置-CN201610086720.3有效
发明人：田中英明 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开一种基板清洗装置，该基板清洗装置使基板旋转，并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板。基板清洗装置具有：自清洁部件，该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂，与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗；以及移动机构，该移动机构设置于支承所述清洗部件的臂，使所述自清洁部件在与所述清洗部件接触的位置和从所述清洗部件离开的位置之间移动
清洗装置方法以及处理

[实用新型]一种针清洗装置及系统-CN202123072336.3有效
发明人：李东琦;刘太文;王浩民 -专利权人：北京胡曼智造科技有限责任公司;南京辰光医疗科技有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型涉及医疗设备技术领域，特别是一种针清洗装置及系统，该针清洗装置包括：固定部件、动力部件、传动部件和清洗部件；清洗部件设置在传动部件上，传动部件与固定部件活动连接；动力部件能够通过驱动传动部件使清洗部件沿传动部件的运动轨道发生位置状态变化本实用新型提供了一种在动力装置驱动下可以上下运动的针清洗装置，该针清洗装置可以安装在其他装置的底部，从而就不会影响和抢占其它部件的布设空间；当需要清洗时，清洗部件在动力部件的驱动下向上运动，进行清洗操作；当清洗完成后向下运动，返回原位；同时该针清洗装置对待清洗针是运动件还是固定件都没有要求，可以适用更多的场景。
一种清洗装置系统

[实用新型]一种应用于现代农业大棚玻璃屋顶的玻璃清洗机-CN201721297471.9有效
发明人：王晓庆 -专利权人：北京水木九天科技有限公司
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于现代农业大棚玻璃屋顶的玻璃清洗机，其包括驱动装置、第一清洗部件和第二清洗部件，所述第一清洗部件的上端与第二清洗部件的上端连接形成了具有一定角度的并能同时清洗屋脊线两侧的玻璃的清洗机构；所述第一清洗部件的底面和第二清洗部件的底面均设有能够滑动行走的滑轮；所述第一清洗部件和第二清洗部件的上端通过具有弹性的弹簧连接以使第一清洗部件和第二清洗部件之间的角度灵活调整。弹簧的设置使得第一清洗部件和第二清洗部件之间的角度能够随意调整，使得其能够适宜不同角度的玻璃屋顶，且由于弹簧具有回弹力，还能够使第一清洗部件和第二清洗部件始终紧密的与玻璃接触，能够增加清洗效果。
清洗部件玻璃屋顶上端玻璃清洗机现代农业大棚弹簧底面本实用新型玻璃弹簧连接灵活调整清洗机构清洗效果驱动装置弹性的回弹力屋脊线滑动滑轮清洗应用

[实用新型]油桶清洗装置-CN202220054535.7有效
发明人：邓兆强;胡杰;杨海;李扬;张超 -专利权人：肥城天河机械科技有限公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B08B9/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动化程度高且清洗效果好的油桶清洗装置。一种油桶清洗装置，包括：清洗室，顶部开口；顶盖，设置在清洗室顶部，用于密闭清洗室；第一清洗部件，设置在顶盖上；第二清洗部件，设置在清洗室底部；油桶限位部件，设置在清洗室内；清洗泵，设置在清洗室外，用于将第一清洗介质泵入第一清洗部件和第二清洗部件；冲洗泵，设置在清洗室外，用于将第二清洗介质泵入第一清洗部件和第二清洗部件；控制阀门，用于切换清洗泵和冲洗泵与第一清洗部件和第二清洗部件的连通状态。本实用新型使油桶在清洗室内被油桶限位部件限位，保证清洗过程中油桶位置固定，且形成全方位的立体清洗方式，使油桶达到较好的清洁效果。
油桶清洗装置

[发明专利]一种清洗装置及清洗方法-CN201811634866.2有效
发明人：史进 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种清洗装置及清洗方法，清洗装置包括：夹持部件，所述夹持部件的一端用于夹持待清洗零件；用于带动所述夹持部件摆动的摆动部件，所述摆动部件的一端与所述夹持部件的另一端连接；用于带动所述夹持部件旋转的旋转部件，所述旋转部件一端与所述摆动部件的另一端连接；用于清洗所述零件的清洗部件，所述夹持部件位于所述清洗部件上方。通过本发明实施例，不需要在清洗部件中设置固定支架，并且通过旋转部件和摆动部件可以带动待清洗零件进行旋转和摆动，可以避免由于固定支架遮挡，而导致超声波盲区处存在的清洗死角，可以解决现有的清洗装置清洗效果差的问题
一种清洗装置方法

[实用新型]一种立式多工位洗杯机-CN201721682922.0有效
发明人：王先华 -专利权人：苏昭强
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： A47L15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及清洗设备领域，特别涉及一种立式多工位洗杯机。包括定位架、水杯清洗装置和水杯承托装置，所述水杯清洗装置包括用于对待清洗的水杯进行清洗的水杯清洗部件、驱动水杯清洗部件旋转的清洗旋转部件和用于驱动水杯清洗部件与清洗旋转部件沿着竖直方向移动的清洗驱动部件，所述清洗旋转部件与水杯清洗部件传动连接，所述清洗驱动部件与水杯清洗部件传动连接，所述水杯承托装置包括安装在定位架上的第一承托板和安装在定位架底部用于支撑定位架的第二承托板，所述第二承托板底部设有用于支撑第二承托板的支撑部件本实用新型采用这样的清洗作业能够满足待清洗水杯的自动清洗作业，进而减少了人工的输出，提高了清洗水杯的清洁度。
水杯清洗清洗承托板旋转部件定位架水杯本实用新型承托装置传动连接清洗水杯驱动部件多工位洗杯机竖直方向移动自动清洗作业支撑定位架清洁度驱动清洗设备清洗作业支撑部件人工的输出支撑

[发明专利]一种用于纺织布料清洗装置-CN201811303283.1有效
发明人：杨帆;段建英;袁福德 -专利权人：浙江汉保利罗针织股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： D06B1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于纺织布料清洗装置，属于纺织设备技术领域，包括清洗容纳部件、安装在清洗容纳部件一侧壁上的布料传动部件、两个分别设置在清洗容纳部件内的定位清洗部件和两个清洗驱动部件，每个清洗驱动部件均能驱动一个定位清洗部件实现位置移动，每个所述定位清洗部件包括承载滑动组件和能够在承载滑动组件上实现同步移动的转换清洗组件，每个所述清洗驱动部件包括定位驱动组件和与定位驱动组件传动连接的清洗联动组件，所述清洗联动组件与转换清洗组件传动连接本发明能实现对清洗喷水的位置实现改变，能完成对不同尺寸的纺织布料实现清洗作业，提高清洗纺织布料的清洁度，提高了清洗效率。
一种用于纺织布料清洗装置

[发明专利]一种用于纺织布料清洗装置的工作方法-CN201811302226.1有效
发明人：杨帆;段建英;袁福德 -专利权人：浙江汉保利罗针织股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： D06B23/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于纺织布料清洗装置，属于纺织设备技术领域，包括清洗容纳部件、安装在清洗容纳部件一侧壁上的布料传动部件、两个分别设置在清洗容纳部件内的定位清洗部件和两个清洗驱动部件，每个清洗驱动部件均能驱动一个定位清洗部件实现位置移动，每个所述定位清洗部件包括承载滑动组件和能够在承载滑动组件上实现同步移动的转换清洗组件，每个所述清洗驱动部件包括定位驱动组件和与定位驱动组件传动连接的清洗联动组件，所述清洗联动组件与转换清洗组件传动连接本发明能实现对清洗喷水的位置实现改变，能完成对不同尺寸的纺织布料实现清洗作业，提高清洗纺织布料的清洁度，提高了清洗效率。
一种用于纺织布料清洗装置工作方法

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