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[实用新型]一种大尺寸基板烧结用坩埚-CN202222019233.9有效
发明人：何竟宇;贺贤汉;葛荘;王斌;丁闯;崔梦德 -专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F27B14/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大尺寸基板烧结用坩埚，涉及氮化硼坩埚应用领域。该大尺寸基板烧结用坩埚，包括氮化硼坩埚底板和氮化硼坩埚顶盖，所述氮化硼坩埚底板顶部两侧和氮化硼坩埚顶盖底部两侧均开设有第二安装槽，所述氮化硼坩埚底板顶部前后侧和氮化硼坩埚顶盖底部前后侧均开设有第一安装槽该大尺寸基板烧结用坩埚，侧板通过开设的卡槽与连接板开设的安装卡槽配合，对侧板和连接板进行安装连接，使侧板和连接板连接处与其余地方厚度相同，使通过侧板和连接板组成的氮化硅坩埚配件的整体应力分布大致均匀，避免因为氮化硅坩埚整体应力分布的区域差较大的原因，造成的氮化硅坩埚破裂。
一种尺寸烧结坩埚

[发明专利]氮化硼坩埚的化学清洗-CN03110866.0无效
发明人：李炳辉;吕有明;申德振;刘益春;梁红伟;张吉英;范希武 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2003-01-13 - 公布日： 2004-08-04 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化硼坩埚的化学清洗方法，属于化学清洗领域，涉及一种对氮化硼坩埚的化学清洗方法。用浓硫酸、浓硝酸、氢氟酸配置的混合酸液和60％NaOH溶液将氮化硼坩埚被浸润的表层腐蚀剥离并能保证氮化硼坩埚的完整，能将氮化硼坩埚彻底清洗干净，不残留任何杂质，使其可以多次使用，熔融不同的材料，降低成本
氮化坩埚化学清洗

[实用新型]一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚-CN201721701974.8有效
发明人：童凯;曾兴中;袁建南;朱训政;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀金属用双层陶瓷坩埚，包括热解氮化硼陶瓷坩埚，在所述热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套有氮化铝陶瓷坩埚。在所述热解氮化硼陶瓷坩埚与氮化铝陶瓷坩埚之间留有间隙空间。所述热解氮化硼陶瓷坩埚与所述氮化铝陶瓷坩埚均设置为圆柱体形状。本实用新型提供的蒸镀金属用双层陶瓷坩埚通过在热解氮化硼陶瓷坩埚外嵌套氮化铝陶瓷坩埚，既保留了热解氮化硼PBN坩埚良好的热导性、抗热震性和耐高温特性，又保证了嵌套有外层氮化铝陶瓷坩埚的双层嵌套陶瓷坩埚具有足够的强度和硬度，取放坩埚撞击时不易破裂；并防止长时高温使用中不会发生浸润泄露和破裂漏液而导致蒸发源损坏。此外，双层嵌套陶瓷坩埚的结构设置延长了坩埚的使用寿命。
坩埚陶瓷坩埚热解氮化硼氮化铝陶瓷嵌套双层陶瓷蒸镀本实用新型双层嵌套金属破裂耐高温特性圆柱体形状高温使用间隙空间结构设置抗热震性使用寿命热导性蒸发源长时漏液取放浸润泄露保留保证

[实用新型]具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚-CN201220429012.2有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2012-08-27 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： F27B14/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体具有内表面和外表面，至少内表面覆有热解氮化硼保护层。所述内表面和外表面均具有热解氮化硼保护层。所述热解氮化硼保护层的厚度为0.01-3mm。所述热解氮化硼保护层通过化学气相沉积法覆于坩埚本体的表面。所述坩埚本体为石墨或陶瓷制成。本实用新型的具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚不但有效控制物质挥发，而且成本低。
具有氮化保护层蒸发坩埚

[实用新型]一种稀有贵金属材料的高真空连铸用坩埚-CN202122330286.8有效
发明人：周年泉 -专利权人：石家庄博欧金属制品有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： F27B14/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及贵金属真空连铸坩埚技术领域，且公开了一种稀有贵金属材料的高真空连铸用坩埚，包括坩埚，坩埚包括氮化硼内衬和石墨坩埚外套，氮化硼内衬上缠绕有加热圈，加热圈在氮化硼内衬与石墨坩埚外套之间，石墨坩埚外套的外侧安装有插头，插头与加热圈连接，坩埚侧壁上设置有出料管，出料管一端与氮化硼内衬连通，出料管的一端在坩埚的外侧。该稀有贵金属材料的高真空连铸用坩埚，在氮化硼内衬与石墨坩埚外套之间设置加热圈，加热圈缠绕在氮化硼内衬上，通过插头连接电源通过加热圈进行加热，使坩埚具有自行加热的功能，且采用氮化硼内衬，有效减少了高纯金、
一种稀有贵金属材料真空连铸用坩埚

[发明专利]一种微波烧结用辅热保温装置-CN201911082428.4有效
发明人：殷增斌;洪东波 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： F27B14/10 文献下载
摘要：装置由外到内依次包括：多晶莫来石高温纤维棉层，莫来石纤维箱和氮化硼坩埚；坩埚和莫来石纤维箱之间填充纤维棉，莫来石纤维箱外层包裹有多晶莫来石高温纤维棉层，莫来石纤维箱上盖板中心设有测温孔；氮化硼坩埚包括坩埚主体和坩埚盖，坩埚主体内部有氮化硼圆环，在氮化硼圆环与氮化硼坩埚间隙与氮化硼圆环内部填充氮化硅粉末，烧结试样置于氮化硼圆环中心，置入氮化硅粉末中埋粉烧结；坩埚盖中心设有倒漏斗型通孔。本装置基于装置内不同材料的吸波与透波性能，在微波烧结中能起到优秀的保温与辅热作用；且坩埚盖的漏斗形测温孔，有利于隔热并排出样品烧结过程中挥发的胶。
一种微波烧结用辅热保温装置

[发明专利]热解氮化硼坩埚的制备方法-CN201711404062.9在审
发明人：胡丹;朱刘;余明 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本申请提供了一种热解氮化硼坩埚的制备方法。所述方法以金刚石线切割的方式代替现有的金刚石砂轮片切割的方式，采用金刚石线单线往复循环切割热解氮化硼坩埚初体的多余部分，直至得到所需尺寸的热解氮化硼坩埚，由于切割的过程不需要震动，因此不仅可以大大降低切割界面的损伤概率，提高热解氮化硼坩埚的质量和合格率，还可以避免随后清洗过程中使用的酸性或碱性液体进入热解氮化硼的层里，从而可以增加热解氮化硼坩埚的使用次数，降低单晶的生长成本。本申请热解氮化硼坩埚的制备方法所需设备简单，易操作，生产成本低。
热解氮化硼坩埚切割制备金刚石砂轮片金刚石线切割热解氮化硼生产成本低碱性液体金刚石线清洗过程往复循环单晶单线申请损伤合格率震动生长概率

[发明专利]一种热解氮化硼坩埚及其制备方法-CN201610834739.1在审
发明人：胡丹;朱刘;张贵林 -专利权人：广东先导稀材股份有限公司
申请日： 2016-09-20 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种热解氮化硼坩埚的制备方法，本发明公开的方法操作简单，不存在二次升温，减少了人员操作的失误率，节约了人力和时间。由上述方法得到的具有预涂层的热解氮化硼坩埚容易脱模，脱模后，用气体吹扫坩埚内壁，热解氮化硼预涂层即可轻易脱落，获得的热解氮化硼坩埚内表面洁净光滑，无需二次打磨，避免了打磨过程中对热解氮化硼坩埚内壁的损伤，有效提高了热解氮化硼坩埚的性能和质量。
一种氮化坩埚及其制备方法

[发明专利]一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法-CN201210056773.2有效
发明人：刘汝萃;刘汝强 -专利权人：山东国晶新材料有限公司
申请日： 2012-03-06 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括采用化学气相沉积工艺，在基体模具上沉积热解氮化硼涂层，于1750～1850℃在基体模具上先沉积0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层，然后升温到1800～2000℃，再在热解氮化硼预涂层上按现有技术反应沉积热解氮化硼材料，形成热解氮化硼坩埚。本发明方法得到的PBN坩埚容易脱模，石墨模具易清理；脱模后用压缩空气吹扫使坩埚内壁的PBN预涂层脱落，所得PBN坩埚的内壁洁净光滑，无需再打磨，避免了打磨对PBN坩埚内壁的损伤，节约了时间和人力。
一种脱模氮化坩埚制备方法

[发明专利]一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法-CN201210287522.5有效
发明人：何军舫;房明浩;刘艳改;黄朝晖 -专利权人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2012-08-13 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： C23C26/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法，包括如下步骤：先将氧化硼粉与酚醛树脂配制成料浆；再将配制好的料浆均匀涂覆于清洗干净的需要修复的用后热解氮化硼坩埚表面并干燥；然后将上述干燥后的热解氮化硼坩埚置于高温气氛炉加热，在一定气氛条件下反应，原位生成氮化硼涂层；最后将表面打磨抛光后即得到修复后的热解氮化硼坩埚。本发明方法可以使表面修复后的热解氮化硼坩埚再次用于化合物半导体单晶的生长，降低了成本。
一种用后热解氮化坩埚表面修复方法

[发明专利]一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法-CN202011163179.4在审
发明人：徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;王成新 -专利权人：山东浪潮华光光电子股份有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种电子束蒸发台坩埚组件的清理方法，属于半导体加工技术领域。操作步骤如下：(1)涂层制作：在使用坩埚上方放置档板，使用氮化硼喷剂在档板上方进行喷涂一层氮化硼，使氮化硼喷剂均匀的分布在坩埚侧壁上，喷涂完成后将档板取走；(2)坩埚使用：蒸镀金属；(3)坩埚侧壁清理。本发明在坩埚侧壁上喷涂氮化硼喷剂，使坩埚侧壁和金属层之间粘附程度较低，方便积聚大量金属层，清理去除操作方便，且氮化硼喷剂涂层能够耐受住1000摄氏度以上的高温环境，保证坩埚内蒸发源能够正常熔化同时，坩埚侧壁上的材料不会发生熔化而流入坩埚内，保证坩埚的正常蒸镀使用。
一种电子束蒸发坩埚组件清理方法

[发明专利]半导体晶体生长用石英坩埚镀氮化硼膜的方法-CN201711226461.0有效
发明人：白平平;朱刘;张强;黄成建;陈伟杰;危严;黄宇彬 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C04B41/87 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体晶体生长用石英坩埚镀氮化硼膜的方法。本申请采用溶胶法在石英坩埚内表面镀氮化硼膜，所述氮化硼膜在较低温度下即可生成，且可以均匀且致密的附着在光滑的石英坩埚内表面，当镀氮化硼膜的石英坩埚用于半导体晶体生长时，可以避免石英中的Si污染晶体。
半导体晶体生长石英坩埚氮化方法

[实用新型]非晶带材喷嘴-CN200920141936.0无效
发明人：朱正吼 -专利权人：南昌大学
申请日： 2009-03-10 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B05B1/00 文献下载
摘要：一种非晶带材喷嘴，它包括氮化硼陶瓷片，坩埚底端连接四块氮化硼陶瓷片，其特征是四片氮化硼陶瓷片围成0.1mm-1.0mm的喷缝，四片氮化硼陶瓷片外围通过耐火泥或者高温胶与坩埚固定连接，氮化硼陶瓷片连接螺杆本实用新型的技术效果是：1.喷缝可以随时调整，氮化硼陶瓷片可重复使用，节省材料和成本；2.可将损坏的一片或若干片氮化硼陶瓷片更换，加工方便，使用效率高。
非晶带材喷嘴

[发明专利]一种无卷气铝-氮化硼熔体的高效搅拌方法及装置-CN201810010295.9在审
发明人：张鹏;张伟一;杜云慧;王玉洁 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C22C1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种无卷气铝‑氮化硼熔体的高效搅拌方法及装置，属于冶金、铸造等材料加工研究领域，本发明采用内壁布有直叶片的变体积石墨坩埚与高速电磁搅拌相结合方式对铝‑氮化硼熔体进行搅拌；利用变体积石墨坩埚，通过减小石墨坩埚的体积，排空石墨坩埚中熔体上部的全部气体，并且在熔体与外界气体完全隔绝的条件下，即没有气体源的条件下，进行熔体的搅拌，进而从根源上避免熔体卷气；利用高速电磁搅拌，在无卷气束缚的情况下，使铝‑氮化硼熔体产生周向高速搅拌运动，利用石墨坩埚内壁上的直叶片，不断地将内部的铝‑氮化硼熔体移到周围、将上部的铝‑氮化硼熔体移到下部，进而阻止氮化硼颗粒的上浮和中央偏聚运动，从而高效率地得到无卷气的氮化硼颗粒均匀分布的铝‑氮化硼熔体，搅拌时间可缩短到2分钟，解决了铝‑氮化硼熔体搅拌中存在的卷气和搅拌效率低技术问题。
熔体氮化硼石墨坩埚氮化硼颗粒高速电磁直叶片石墨坩埚内壁中央偏聚运动材料加工高速搅拌搅拌效率结合方式熔体搅拌外界气体高效率气体源壁布减小排空上浮铸造束缚冶金研究

[发明专利]一种无卷气锌-氮化硼熔体的高效搅拌方法及装置-CN201810011406.8在审
发明人：张鹏;张伟一;杜云慧;王玉洁 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C22C1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种无卷气锌‑氮化硼熔体的高效搅拌方法及装置，属于冶金、铸造等材料加工研究领域，本发明采用内壁布有直叶片的变体积石墨坩埚与高速电磁搅拌相结合方式对锌‑氮化硼熔体进行搅拌；利用变体积石墨坩埚，通过减小石墨坩埚的体积，排空石墨坩埚中熔体上部的全部气体，并且在熔体与外界气体完全隔绝的条件下，即没有气体源的条件下，进行熔体的搅拌，进而从根源上避免熔体卷气；利用高速电磁搅拌，在无卷气束缚的情况下，使锌‑氮化硼熔体产生周向高速搅拌运动，利用石墨坩埚内壁上的直叶片，不断地将内部的锌‑氮化硼熔体移到周围、将上部的锌‑氮化硼熔体移到下部，进而阻止氮化硼颗粒的上浮和中央偏聚运动，从而高效率地得到无卷气的氮化硼颗粒均匀分布的锌‑氮化硼熔体，搅拌时间可缩短到2分钟，解决了锌‑氮化硼熔体搅拌中存在的卷气和搅拌效率低技术问题。
熔体氮化硼石墨坩埚氮化硼颗粒高速电磁直叶片石墨坩埚内壁中央偏聚运动材料加工高速搅拌搅拌效率结合方式熔体搅拌外界气体高效率气体源壁布减小排空上浮铸造束缚冶金研究

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