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[发明专利]一种机台气路流量调整系统及方法-CN202010290176.0有效
发明人：张海龙 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种机台气路流量调整系统及方法，机台气路流量调整系统包括：机台跑货任务预测单元、气路流量监控单元、气路流量控制单元；其中，机台跑货任务预测单元预测机台的跑货时间表，气路流量监测单元用于实时监测机台的气路流量，气路流量控制单元分别与机台跑货任务预测单元以及气路流量监测单元通信连接，气路流量控制单元用于根据气路流量，判断气路流量是否超出预设流量范围，当气路流量超出预设流量范围时，气路流量控制单元根据机台跑货任务预测单元提供的跑货时间表，判断当下机台的跑货状态，并根据跑货状态做出相应的流量控制指令。本发明提供的方案，以解决现有气路流量调整方法延误跑货进程且操作复杂的问题。
一种机台流量调整系统方法

[发明专利]流量控制方法以及比例控制阀-CN201911338522.1有效
发明人：常祝;苏乾益;宋志辉 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制方法以及比例控制阀，该方法包括：获取各气路的最大流量值和在预设的流量比例中的占比，最大流量值为各气路上的比例控制阀的最大开度对应的流量值；将所有气路中最大流量值最小的气路作为参照气路；计算除参照气路之外的其他各气路与参照气路的最大流量值比值和占比比值；将各气路对应的最大流量值比值一一对应地与各气路对应的占比比值进行比较；根据比较结果，计算获得各气路的使用流量值，并向各气路上的比例控制阀输出与使用流量值对应的开度值通过本发明，既能保证各气路的恒定比例，又能保证各气路的气体流量最大。
流量控制方法以及比例

[发明专利]半导体加工设备中气路控制的方法及系统-CN201310722602.3在审
发明人：兰芳 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体加工设备中气路控制的方法及系统。其中方法包括判断工艺表单中每一气路在不同步骤中的非零气路流量值是否相同；当非零气路流量值不同时，在每一工艺步骤中，根据工艺表单中的每一气路的气路流量值对所有气路的气路流量进行异步设置，并当气路流量稳定后执行相应的工艺步骤，直至完成所有工艺步骤；当非零气路流量值相同时，对所有气路的气路流量值进行异步设置，并在每一工艺步骤中，根据工艺表单中的气路流量值是否为零打开或关闭气路与工艺腔室之间的阀门；气路流量稳定后执行相应的工艺步骤本发明实现气路控制方式的智能选择，缩短气路流量设置时间，提高生产效率。
半导体加工设备中气控制方法系统

[发明专利]气路流量实时动态调节方法、系统及存储介质-CN202011502716.3有效
发明人：陈海永;张华杰;武传伟;王栋;侯贤祥;陆漫;刘鲜花 -专利权人：汉威科技集团股份有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种气路流量实时动态调节方法、系统及存储介质，所述方法包括以下步骤：判断气路是否发生堵塞以及采样泵是否处于正常工作状态，在气路未发生堵塞且采样泵处于正常工作状态时，读取气路实际流量f1，比较气路实际流量f1与气路设定流量f0；若气路实际流量f1不在气路设定流量范围F内，则根据气路实际流量f1和采样泵供电电压‑气路流量模型，计算出采样泵实际供电电压U1；获得采样泵供电电压调整值U’，基于采样泵供电电压调整值U’对采样泵供电电压进行动态调整；再次获取气路实际流量f1’，通过气路实际流量f1’和气路设定流量f0之间的差值对采样泵供电电压再次进行动态调整，直至气路实际流量f1’处于气路设定流量范围F内。
流量实时动态调节方法系统存储介质

[发明专利]半导体设备制造中控制气体输入的方法及系统-CN201310214105.2有效
发明人：王晶;付金生;马平 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：其方法包括根据半导体设备制造工艺任务中的工艺表单中每路气路预设气路流量值，循环检测出在前一次工艺步骤中前次气路流量值不为0，且本次工艺步骤中气路流量值相对于前一次工艺步骤中前次气路流量值发生变化的气路；关闭设置后气路流量值为0的气路，并在预设时间t内将腔室中的气体排出；根据所述预设气路流量值，设置本次工艺步骤中其余气路流量发生变化的气路的气路流量值。其减少了前一次工艺步骤的残余气体对本工艺步骤工艺结果的影响；通过循环检查的方式对有流量变化的气路进行流量设置，提高了气路设置的效率。
半导体设备制造控制气体输入方法系统

[实用新型]双模式检漏仪-CN201520463925.X有效
发明人：马诏韡;刘德亮 -专利权人：天津博益气动股份有限公司
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本实用新型所述双模式检漏仪，包括检测气源、充气阀、基准气路和被测气路，检测气源与充气阀相连接，充气阀后分别连接有基准气路和被测气路，基准气路和被测气路中均连接有平衡阀，基准气路、被测气路平衡阀后的气路之间串接有差压传感器；还包括流量检测气路，流量检测气路中连接有两个流量检测阀和一个流量传感器，流量传感器位于两个流量检测阀之间。本双模式检漏仪，具有适用范围广、购置成本低、占地空间小、检测效率高等优点；此外基准气路和被测气路中的平衡阀能够保护和延长差压传感器的使用寿命；同时流量检测气路中的流量检测阀能够确保差压模式检测时检测结果的准确度
双模检漏

[发明专利]双模式检漏仪及其检测方法-CN201510378890.4在审
发明人：马诏韡;刘德亮 -专利权人：天津博益气动股份有限公司
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明所述双模式检漏仪及其检测方法，包括检测气源、充气阀、基准气路和被测气路，检测气源与充气阀相连接，充气阀后分别连接有基准气路和被测气路，基准气路和被测气路中均连接有平衡阀，基准气路、被测气路平衡阀后的气路之间串接有差压传感器；还包括流量检测气路，流量检测气路中连接有两个流量检测阀和一个流量传感器，流量传感器位于两个流量检测阀之间。本双模式检漏仪及其检测方法，具有适用范围广、购置成本低、占地空间小、检测效率高等优点；此外基准气路和被测气路中的平衡阀能够保护和延长差压传感器的使用寿命；同时流量检测气路中的流量检测阀能够确保差压模式检测时检测结果的准确度
双模检漏及其检测方法

[实用新型]一种采用流量传感器的检测气路系统-CN202220441590.1有效
发明人：刘太鹏;陈建盈;张雷;戴华锋 -专利权人：浙江迦南科技股份有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01F1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种采用流量传感器的检测气路系统，包括气源、气路及旋转部件，气路的一端与气源相连通，另一端与旋转部件相连通，所述的气路中依次设置有用于检测气路压力的压力开关、用于控制气路通断的电磁阀及用于检测气路流量的流量传感器本实用新型提供一种采用流量传感器的检测气路系统。
一种采用流量传感器检测系统

[实用新型]气溶胶光度计的气路结构-CN202021663853.0有效
发明人：储瑞巍;惠旅锋 -专利权人：苏州苏信环境科技有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气溶胶光度计的气路结构，包括进气口、出气口、气溶胶传感器、过滤器、第一抽气泵、第二抽气泵、第一流量传感器和第二流量传感器，进气口上连接有第一气路和第二气路，第一气路的进气端和第二气路的出气端与进气口相连，第二气路的进气端和第一气路的出气端与出气口相连，第一气路上依次设置有气溶胶传感器、过滤器、第一抽气泵和第一流量传感器，第二气路上依次设有第二抽气泵和第二流量传感器。采用双泵气路结构，使用鞘气保护气路减少腔体内光学镜片污染；两个气路流量固定，减少了流量的干扰，增强了数据的稳定性；对总抽气流量和保护气流量分别使用抽气泵进行控制，排除了保护气流量无法调节导致流量下降的问题
气溶胶光度计结构

[实用新型]消除相关气路流量波动的高精度质量流量控制设备-CN98251712.2无效
发明人：宋航;周天明;蒋红;张宝林;金亿鑫 -专利权人：中国科学院长春物理研究所
申请日： 1998-12-30 - 公布日： 2000-11-29 - 主分类号： G05D7/00 文献下载
摘要：本实用新型属于一种在气体流量精确控制过程中,消除相关气路在调节改变某一气路和某几个气路气体流量时引起相关其它气路气体流量波动的一种装置。是在有单一公共运载气体源的气体流量精确控制设备中,增加一路装有一个通用的质量流量控器,不通过任何反应物的附加气路作为气体流量平衡补偿调节气路。平衡补偿气路所排放的气体可以回收,不会造成不必要的浪费。由于只增加一路平衡补偿气路,所以具有结构简单,成本低廉,容易实施等优点。
消除相关流量波动高精度质量控制设备

[实用新型]一种气溶胶采样系统-CN202220596827.3有效
发明人：吴俊伟;刘笑;王永水;张旭;秦丹;何春雷 -专利权人：青岛众瑞智能仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气溶胶采样系统，包括气雾室、采样气路及清洗气路，采样气路和清洗气路均分别与气雾室连接，采样气路用于对气雾室内的气溶胶进行采样，清洗气路用于排出气雾室内的气溶胶，清洗气路上设有控制阀，控制阀用于调节清洗气路的流量，以使清洗气路和采样气路的流量相同。该采样系统能够有效调整采样气路和清洗气路切换后的系统压差，缩短气路切换后的流量调整时间，有效的避免了因为流量调整对气溶胶采样结果的影响，提高了实验数据的准确性。
一种气溶胶采样系统

[发明专利]SF6-CN201711133361.3在审
发明人：吴奇宝;王铮;连鸿松;郑云海;沈谢林;林盛强;高阿娜;孙宇轩;涂婷;彭炜文;吴文鹏;魏敏 -专利权人：国网福建省电力有限公司泉州供电公司;泉州亿兴电力有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种SF6气体分解物比色法检测仪，包括有气体稳压单元、流量控制器、气路选择阀、参比气路通道、比色管通道，流量计、显示装置及系统控制单元，所述的系统控制单元分别与流量控制器、气路选择阀、流量计及显示装置相连，气体稳压单元、流量控制器、气路选择阀依次连接，参比气路通道与比色管通道均连接于气路选择阀由气路选择阀控制气路的流通方向，参比气路通道与比色管通道均通向流量计，气体由气体稳压单元接入本检测仪通过对流量的自动控制、气体体积的自动计算控制，完成实现以便携方式把比色管检测法带到现场，解决了样气易受外界影响、样本气代表性不强、流量不稳定、用气量不够精确的问题。
sf base sub

[实用新型]比色管检测装置-CN201721528001.9有效
发明人：吴奇宝;王铮;连鸿松;郑云海;沈谢林;林盛强;高阿娜;孙宇轩;涂婷;彭炜文;吴文鹏;魏敏 -专利权人：国网福建省电力有限公司泉州供电公司;泉州亿兴电力有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G01N21/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种比色管检测装置，包括有气体稳压单元、流量控制器、气路选择阀、参比气路通道、比色管通道，流量计、显示装置及系统控制单元，所述的系统控制单元分别与流量控制器、气路选择阀、流量计及显示装置相连，气体稳压单元、流量控制器、气路选择阀依次连接，参比气路通道与比色管通道均连接于气路选择阀由气路选择阀控制气路的流通方向，参比气路通道与比色管通道均通向流量计，气体由气体稳压单元接入。本检测仪通过对流量的自动控制、气体体积的自动计算控制，完成实现以便携方式把比色管检测法带到现场，解决了样气易受外界影响、样本气代表性不强、流量不稳定、用气量不够精确的问题。
比色管选择阀气路流量计流量控制器气路通道稳压单元参比系统控制单元检测装置显示装置本实用新型控制气路流通方向外界影响依次连接自动计算检测法检测仪用气量样气样本

[发明专利]半导体加工设备的供气系统及其气体流量校准的方法-CN200710120360.5有效
发明人：苏晓峰 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-08-16 - 公布日： 2009-02-18 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体加工设备的供气系统及其气体流量校准的方法，包括气路盒，用于向反应腔室供气，气路盒设有质量流量控制器MFC，气路盒上还设有气路盒清洗管路，气路盒清洗管路上设有校准隔离阀，可以将气路盒清洗管路隔离封闭，通过MFC向所述气路盒清洗管路中通入一定流量的气体，然后根据理想气体状态方程计算进入气路盒清洗管路中的气体的实际流量，并将该流量与MFC的设定流量进行比较，并根据比较的结果对所述供气系统的气体流量进行校准
半导体加工设备供气系统及其气体流量校准方法

[实用新型]一种多相流测量实验装置-CN201320387426.8有效
发明人：徐骏扬 -专利权人：马烈
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：一种多相流测量实验装置，其特征在于，从上往下分为油路、水路、气路三路；所述的油路包括依次连接的油罐，油泵，稳压罐，椭圆齿轮流量计；所述的水路包括依次连接的水罐，水泵，稳压罐，电磁流量计；所述的气路包括依次连接的气泵，稳压罐，涡街流量计；油路的椭圆齿轮流量计、水路的电磁流量计、气路的涡街流量计的后端设置有将油路、水路、气路混合的油水气三相混合器，水路的电磁流量计、气路的涡街流量计的后端还设置有将水路、气路混合的水气二相混合器
一种多相测量实验装置

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