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[发明专利]气相沉积系统-CN200810110795.6无效
发明人：詹世雄;曾坚信 -专利权人：先进开发光电股份有限公司
申请日： 2008-05-30 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种气相沉积系统，其包含：一离子产生区、一反应腔，以及一置于该产生区与该反应腔之间的多孔管。该产生区提供一第一元素的等离子。该多孔管将该第一元素的等离子及一第二元素汇集导入该反应腔。该第一元素的等离子及该第二元素于该反应腔中与一基板进行化学气相磊晶使成长一薄膜层。
沉积系统

[实用新型]气相沉积系统-CN201020598384.9有效
发明人：李东柱;沈炫旭;李宪昊;金荣善;金晟泰 -专利权人：三星LED株式会社
申请日： 2010-11-05 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气相沉积系统和一种发光装置。根据本实用新型一方面的气相沉积系统可包括：第一室，具有第一基座和至少一个第一气体分配器，所述至少一个第一气体分配器沿与设置在所述第一基座上的基底平行的方向排放气体；第二室，具有第二基座和至少一个第二气体分配器当使用根据本实用新型一方面的气相沉积系统时，由此生长的半导体层具有优异的晶体质量，由此提高发光装置的性能。此外，在提高气相沉积系统的操作能力和产率的同时，可以防止设备的劣化。
沉积系统

[发明专利]能够在线检测气体分离膜性能的气相沉积设备及制膜方法-CN201910973262.9有效
发明人：王来军;徐庐飞;张平;陈崧哲 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：能够在线检测气体分离膜性能的气相沉积设备及制膜方法，属于气相沉积和气体分离膜领域。气相沉积设备包括：包括进气系统、真空系统、气相沉积系统和在线检测系统，所述进气系统为双载气进气系统；进气系统与气相沉积系统连接，气相沉积系统与进气系统、真空系统和在线检测系统连接，真空系统与气相沉积系统和在线检测系统连接，在线检测系统与真空系统和气相沉积系统连接；制备气体分离膜时，两种载气携带沉积源进入气相沉积系统，通过气相沉积得到气体分离膜；在线检测气体分离膜性能时，通过气路切换，将双载气转换为气体分离膜的分离对象，在线检测系统检测气体分离膜的分离性能。
能够在线检测气体分离性能沉积设备方法

[发明专利]一种化学气相沉积方法-CN201310308530.8无效
发明人：戴煜;胡祥龙;胡高健 -专利权人：湖南顶立科技有限公司
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积方法，以化学气相沉积系统进行化学气相沉积，化学气相沉积系统包括：化学气相沉积室，化学气相沉积室内设有发热体、隔热屏和与化学气相沉积室连通，且分散安装的多个喷嘴系统；真空系统，真空系统具有与多个喷嘴系统连通的真空管路，真空管路上设有真空开关阀；化学沉积气路系统，化学沉积气路系统具有与多个喷嘴系统连通的充气管路，充气管路上设有充气开关阀。本发明使用的化学气相沉积系统，设置有多个分散安装的喷嘴系统，即各个喷嘴系统并非安装在同一位置。同时设置了多个分别与多个喷嘴系统连接的真空管路和充气管路，能够有效的实现化学气相沉积产品均匀沉积，从而得到均匀材质的化学气相沉积成品。
一种化学沉积方法

[发明专利]气相沉积系统及气相沉积方法-CN201510043633.5有效
发明人：张慧娟;刘建宏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-01-28 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相沉积系统及气相沉积方法。气相沉积系统包括：容纳室；设置在所述容纳室内的用于承载基板的基台，所述基台将容纳室隔开形成可密闭的反应室；设置在所述反应室内的与基台相对设置的喷淋装置，其中，所述喷淋装置用于喷淋气相沉积用的工艺气体；设置在所述容纳室内且所述反应室外的风冷装置使用上述气相沉积系统的气相沉积方法。本发明的气相沉积系统及气相沉积方法，每个出风口的出风量可单独控制，使得基板的各个区域温度相对均匀，进而使得气相沉积形成的薄膜厚度更加均匀。
气相沉积气相沉积系统出风口基台单独控制风冷装置喷淋装置出风量容纳室室内冷风容纳沉积系统承载基板工艺气体相对设置反应室隔开基板密闭喷淋薄膜室外

[实用新型]气相沉积炉及气相沉积系统-CN201921828411.4有效
发明人：刘鑫培;朱小刚;刘慧敏 -专利权人：苏州创瑞机电科技有限公司
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型揭示了气相沉积炉及气相沉积系统，其中气相沉积炉，包括罩体及盖板，它们均连接一轴，罩体的侧壁上设置有第一气道、第二气道及第一电极及第二电极，第一电极电连接架设于罩体内的导电工件放置架，第二电极电连接位于罩体内且与导电工件放置架位置对应的导电板
沉积系统

[实用新型]用于制备硅碳负极材料的化学气相沉积系统-CN201420333149.7有效
发明人：吴清国;权学军;朱玉巧;徐中领 -专利权人：浙江瓦力新能源科技有限公司
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于制备硅碳负极材料的化学气相沉积系统，包括化学气相沉积室、反应气体源供应系统、载气供应系统、可旋转沉积室、废气接收器。所述反应气体源供应系统、载气供应系统与化学气相沉积室连通，所述可旋转沉积室与化学气相沉积室连通；本实用新型能够使沉积复合物在沉积受体表面覆盖均匀，且沉积复合物在沉积受体上的分散性良好。
用于制备负极材料化学沉积系统

[实用新型]一种硒化锌制备设备-CN202320774025.1有效
发明人：李广敏;张华芹;张冬翔;韩磊 -专利权人：上海韵申新能源科技有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硒化锌制备设备，包括气相沉积炉，气相沉积炉包括炉体、上炉盖和下炉盖，上炉盖、炉体和下炉盖围设形成炉腔，炉腔内设有坩埚、沉积室、保温层，气相沉积炉连接加热系统、传动系统、抽气系统、进气系统和冷却水循环系统，加热系统用于加热气相沉积炉内温度至气相沉积温度；传动系统用于支撑整套设备和驱动所述下炉盖升降；抽气系统用于对气相沉积炉炉腔内抽真空和保持真空度；进气系统用于原料气体的混合以及气相沉积炉的进料；冷却水循环系统用于冷却气相沉积炉的外表面
一种硒化锌制备设备

[发明专利]调整气相沉积靶的方法和系统-CN200780019632.0无效
发明人： M·伊利克;R·赫夫;G·麦克多诺 -专利权人：先进能源工业公司
申请日： 2007-04-27 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明描述了用于调整气相沉积靶的方法和系统。在一个示例性实施方案中，运行其中使用气相沉积靶的气相沉积系统，探测气相沉积系统中发生的电弧，通过调节驱动气相沉积系统的电源的输出电流并调节将能量输送到各电弧所用的时间，而将基本相同的能量输送到各电弧，来调整气相沉积靶在某些实施方案中，输送到各电弧的能量近似等于气相沉积靶在不被损坏条件下所能承受的最大能量。所述方法和系统显著缩短了从靶去除杂质所需的时间，并且不需要真空室的排气或从真空室移出靶。
调整沉积方法系统

[发明专利]气相沉积系统和气相沉积方法-CN200810214894.9有效
发明人：小沼恭英;浮贺谷信贵;曾田岳彦;仓持清;须志原友和;中根直广 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2008-09-03 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：在衬底上形成有机化合物的膜的气相沉积方法中，加热填充有气相沉积材料的材料容纳部分，从而蒸发或升华所述气相沉积材料，并将气相沉积材料通过连接到材料容纳部分的多个管道排出到真空腔的膜形成空间，并且具有不同的电导系数的多个管道中的具有较小的电导系数的管道设置有用于控制释放到所述真空腔中的气相沉积材料的量的流量调整机构，由此可以细微地调整膜形成速度；以及相应的气相沉积系统。
沉积系统和气方法

[发明专利]一种进气量控制系统、方法和气相沉积炉及其操作工艺-CN202111306341.8在审
发明人：姚宏;段滨;成路;赵领航;杜路路;黄志鹏;高攀红;范文斌 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开一种进气量控制系统、方法和气相沉积炉及其操作工艺，涉及气相沉积炉技术领域，以解决碳/碳复合材料的生产效率低的问题。所述进气量控制系统包括尾气检测装置、进气量调节装置和进气装置；尾气检测装置用于检测尾气中碳源气的含量；进气量调节装置用于调整下一周期的碳源气进气量；进气装置用于在下一周期控制碳源气进入气相沉积炉。所述进气量控制方法包括上述技术方案所提的进气量控制系统，所述气相沉积炉包括上述技术方案所提的进气量控制系统，所述气相沉积炉的操作工艺使用上述技术方案所提的气相沉积炉。本发明提供的进气量控制系统用于控制气相沉积炉内碳源气的进气量。
一种气量控制系统方法和气沉积及其操作工艺

[实用新型]气相沉积炉废气过滤系统-CN202121523490.5有效
发明人：董家海 -专利权人：浙江诺华陶瓷有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是气相沉积炉废气过滤系统。本实用新型提供气相沉积炉废气过滤系统，其有益效果为可以实现对气相炉的废气进行处理，并对废气中的灰尘进行吸附。气相沉积炉废气过滤系统，包括废气桶、进气孔、排水口和过滤板，废气桶上设有进气孔，废气桶上设有排水口，过滤板滑动连接在废气桶内。气相沉积炉废气过滤系统还包括搅拌扇，搅拌扇转动连接在废气桶内。气相沉积炉废气过滤系统还包括气孔，过滤板上设有多个气孔。
沉积废气过滤系统

[发明专利]化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法-CN201510512203.3在审
发明人： N·P·德斯科维奇;W·D·格罗夫 -专利权人：西尔科特克公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积系统、方法及系统的装置。所述系统包括涂覆室、流体引入系统和辐射加热元件的装置。所述流体引入系统包括真空泵和流体引入装置，所述流体引入系统被布置和设置成将流体引入所述涂覆室以便在所述涂覆室中对制品进行化学气相沉积涂覆。所述方法使用所述系统。所述装置包括不止一个所述化学气相沉积系统。
化学沉积系统装置方法

[发明专利]多晶硫化锌化学气相沉积系统及方法-CN202310680612.9在审
发明人：于金凤;陈小民;陈毅明;刘羊 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：提供一种多晶硫化锌化学气相沉积系统及方法。多晶硫化锌化学气相沉积系统包括化学气相沉积炉、熔硫装置、熔锌装置、供气装置、第一管道、第二管道以及抽气装置；化学气相沉积炉包括炉体、沉积室以及加热器；炉体开设有通孔，能够打开和关闭；沉积室位于炉体内且顶部具有穿孔；加热器位于炉体内并位于沉积室周围，加热器用于加热沉积室；熔硫装置位于化学气相沉积炉的炉体外；熔锌装置位于化学气相沉积炉的炉体外；供气装置位于化学气相沉积炉的炉体外；第一管道将熔硫装置和沉积室连通；第二管道将熔锌装置和沉积室连通；沉积室用于使锌蒸汽和硫蒸汽化学气相沉积；抽气装置包括连接管，连接管通孔以及穿孔，抽气装置经由连接管与沉积室连通。
多晶硫化锌化学沉积系统方法

[发明专利]一种集成电路低压化学气相沉积系统-CN202210075158.X在审
发明人：郭芳 -专利权人：郭芳
申请日： 2022-01-22 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B01D46/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路低压化学气相沉积系统，涉及化学气相沉积技术领域。该集成电路低压化学气相沉积系统，包括气相沉积机构，所述气相沉积机构设置有固定板，所述固定板的左侧固定连接有灰尘过滤机构，且气相沉积机构与灰尘过滤机构固定连接，所述固定板的外壁固定连接有灰尘清理机构，且气相沉积机构与灰尘清理机构固定连接该集成电路低压化学气相沉积系统，通过过滤网软性材料，过滤网位于固定板孔内的位置会陷入，进而使灰尘可以跟随气流的移动，移动到过滤网陷入的位置，灰尘堆积在一起后更易于成团，而且过滤网的一处凹陷，可以气流沿着凹陷的轨迹流动
一种集成电路低压化学沉积系统

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