专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法-CN202110211586.6在审
  • 金柾完;金省准 - KC股份有限公司
  • 2021-02-25 - 2021-09-10 - G05D11/13
  • 本发明涉及一种气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法,涉及一种用于将供应气体以适合的浓度供应气体需求处的气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法。本发明的气体混合供应装置包括:混合系统,混合多个种类的气体供应到储罐;供应系统,将储存于所述储罐的供应气体供应气体需求处,其中,所述供应系统构成为包括测量从所述储罐供应供应气体的浓度的浓度分析部,并且构成为控制部根据由所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度而判断供应到所述气体需求处的供应气体是否合适。
  • 气体混合供应装置系统方法
  • [发明专利]一种气体供应装置-CN201910615162.9在审
  • 杨俊杰 - 合肥晶合集成电路股份有限公司
  • 2019-07-09 - 2021-01-12 - F17C7/00
  • 本发明公开一种气体供应装置,所述气体供应装置包括:第一气体供应组件,用于向设备端供应第一气体;第二气体供应组件,用于向设备端供应第二气体;监测控制组件,设置于所述第一气体供应组件和所述第二气体供应组件上;承载柱,用于移动所述第一气体供应组件、第二气体供应组件、监测控制组件以及输出气体管路;多个车轮安装于所述承载柱的底部;所述第一气体供应组件和所述第二气体供应组件通过输出气体管路相连接。本发明采用移动式的气体供应装置,能够实现无线远端控制以及监控气体供应的状态。
  • 一种气体供应装置
  • [发明专利]原子层沉积装置及利用其的原子层沉积方法-CN201880096524.1有效
  • 崔鹤永;金栋元;金相勋;金根植 - 株式会社奈瑟斯比
  • 2018-11-27 - 2023-06-09 - C23C16/455
  • 根据本发明的用于在基板形成原子层的原子层沉积装置包括:基板移送部,用于安置基板,并向第一方向及与所述第一方向不同的第二方向移送所述基板;气体供应部,布置于通过所述基板移送部而移送的所述基板的上方,并且包括供应气体的源气体供应模块、供应反应气体的反应气体供应模块、布置于所述源气体供应模块与所述反应气体供应模块之间的吹扫气体供应模块;以及气体供应管部,包括连接所述源气体供应模块和源气体供应源的源气体供应管、连接所述反应气体供应模块和反应气体供应源的反应气体供应管,其中,所述源气体供应模块及所述反应气体供应模块中的至少一个能够根据所述基板移送部的基板移送方向而改变对基板的气体供应方向。
  • 原子沉积装置利用方法
  • [发明专利]气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法-CN202110210724.9有效
  • 金柾完;金省准 - KC股份有限公司
  • 2021-02-25 - 2023-09-15 - F17D1/02
  • 本发明涉及一种气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法,尤其涉及一种用于更有效地供应供应气体气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法。本发明的气体混合供应装置包括:混合系统,将混合有多个种类的气体供应气体供应至储罐;供应系统,将存储于所述储罐的供应气体供应气体需求处,所述混合系统包括:第一排出线及第二排出线,分别从使所述供应气体向所述储罐流动的混合气体供应线分支而连接到外部;混合气体浓度分析部及混合气体压力测量部,测量在所述第二排出线流动的供应气体的浓度及压力,所述控制部根据测量的供应气体的浓度和压力控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动
  • 气体混合供应装置系统方法
  • [发明专利]气体管理系统-CN201980013680.1在审
  • Y·罗曼·古提雷兹;W·D·吉莱斯皮;E·S·罗;D·A·卡纳瓦德 - 西默有限公司
  • 2019-01-10 - 2020-09-29 - H01S3/14
  • 一种气体腔室供应系统,包括气体源,其被配置为流体连接到气体腔室并且向气体腔室供应气体混合物,该气体源包括预先制备的气体供应,该预先装备的气体源包括气体混合物,该气体混合物包括多种气体成分并且不含卤素;回收气体供应,该回收气体供应包括气体混合物;以及流体流量开关,该流体流量开关连接到预先制备的气体供应和回收气体供应气体腔室供应还包括控制系统,该控制系统被配置为确定回收气体供应内的气体成分之间的相对浓度是否在可接受范围内;并且基于该确定向该流体流量开关提供信号,以由此选择预先制备的气体供应和回收气体供应中之一作为气体
  • 气体管理系统
  • [发明专利]气体供应系统-CN202110212099.1有效
  • 金柾完;金省准 - KC股份有限公司
  • 2021-02-25 - 2023-08-04 - F17D1/04
  • 本发明涉及气体供应系统,涉及一种用于互补地连接相互对应的模块而更加稳定地供应供应气体气体供应系统。根据本发明的气体供应系统包括:第一气体混合供应装置和第二气体混合供应装置,包括相互对应的多个模块,并且构成为并联连接到气体需求处而分别向所述气体需求处供应混合有多种气体供应气体;至少一个连接管线,连接所述第一气体混合供应装置与所述第二气体混合供应装置之间,从而互补地连接所述多个模块中相互对应的模块;控制部,对是否使所述多个模块与所述至少一个连接管线相互连接进行控制而选择性地形成所述供应气体供应流路。
  • 气体供应系统
  • [发明专利]衬底处理装置及制造半导体器件的方法-CN201810214417.6有效
  • 朴金锡;金善政;金利桓 - 三星电子株式会社
  • 2018-03-15 - 2023-06-30 - H01L21/67
  • 公开一种衬底处理装置以及一种制造半导体器件的方法,所述衬底处理装置包括:晶片夹盘,在晶片夹盘上放置有衬底;注入器单元,位于晶片夹盘的一侧并注入工艺气体,所述工艺气体包括第一气体及第二气体;以及气体供应单元,向注入器单元供应工艺气体气体供应单元包括:第一气体供应源及第二气体供应源,分别容纳第一气体及第二气体;第一气体供应管线及第二气体供应管线,分别将第一气体供应源及第二气体供应源连接到注入器单元;以及第一加热单元及第二加热单元,分别设置在第一气体供应管线及第二气体供应管线上设置在第一气体供应管线上的第一加热单元的每单位长度上的密度比设置在第二气体供应管线上的第二加热单元的每单位长度上的密度大。
  • 衬底处理装置制造半导体器件方法
  • [发明专利]燃料供应控制系统和控制方法-CN201580041857.0在审
  • 李准埰;姜东亿;朴青气 - 大宇造船海洋株式会社
  • 2015-07-20 - 2017-04-19 - B63H21/38
  • 本发明公开了一种燃料供应控制系统和控制方法。本发明的燃料供应控制系统用于设置在船舶或离岸结构物上的高压气体喷射引擎,该燃料供应控制系统包括气体供应模式,用于通过气体供应部分向所述高压气体喷射引擎供应气体,所述气体供应单元用于接收从储罐所供应的LNG,以进行压缩和汽化;和油供应模式,用于将油作为燃料供应到所述高压气体喷射引擎,其中,当在所述气体供应模式中发生包括设备故障的紧急情况时,所述燃料供应控制系统被切换到所述油供应模式,以允许所述油供应模式被用作所述气体供应模式的备用
  • 燃料供应控制系统控制方法
  • [发明专利]船舶液化气体供应系统和方法以及船舶液化气体燃料供应系统-CN202080086411.0在审
  • 崔眞溶 - 大宇造船海洋株式会社
  • 2020-12-09 - 2022-08-19 - B63B27/34
  • 本发明涉及一种液化气体供应系统和方法。该液化气体供应系统和方法能够将向船舶的存储罐供应液化气体时产生的蒸发气体,不回送到外部,而在船舶内进行处理。另外,本发明涉及一种船舶液化气体燃料供应系统。该船舶液化气体燃料供应系统能够将向船舶的燃料罐供应液化气体燃料时产生的蒸发气体,不回送到外部,而在船舶内进行处理。本发明的液化气体供应系统,作为从液化气体供应船舶向包括多个液化气体存储罐的船舶供应液化气体的系统,包括:液化气体管线,用于从所述液化气体供应船舶向所述多个液化气体存储罐中的任何一个液化气体存储罐供应液化气体气体排出管线,用于排出向所述任何一个液化气体存储罐供应液化气体时产生的蒸发气体;以及气体供应管线,用于将所述蒸发气体供应至一个或多个其他液化气体存储罐。
  • 船舶液化气体供应系统方法以及气体燃料

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