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- [发明专利]基板旋转装置-CN202080071635.4在审
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上原昇
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SANTEC株式会社
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2020-03-31
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2022-05-27
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C23C14/50
- 一种基板旋转装置，具备主旋转机构、副旋转机构以及导引结构。主旋转机构以第一旋转轴为中心进行旋转。主旋转机构具备副旋转机构。副旋转机构随着主旋转机构的旋转而绕第一旋转轴进行公转，并且副旋转机构以第二旋转轴为中心进行自转。第二旋转轴在对应于第一旋转轴的径向上位移。导引结构具有在对应于第一旋转轴的周向上延伸的接触面。导引结构控制第二旋转轴在径向上的位移，并且当接触面与副旋转机构接触时，导引结构使副旋转机构在沿着接触面的轨道上进行公转运动。
- 旋转装置
- [实用新型]基板旋转装置-CN201621251893.8有效
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徐盛范
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K.C.科技股份有限公司
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2016-11-15
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2017-06-16
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H01L21/673
- 本实用新型涉及一种基板旋转装置，其对圆形盘形状的基板进行支撑的同时使得基板进行旋转，其包括基板支撑部，其设置为对基板的边缘一侧进行支撑；倾斜支撑部，其设置为对所述基板的另一边缘一侧进行支撑，并设置为以一端为基准能够相对于所述基板支撑部倾斜，并且能够以与相对所述基板支撑部的所述基板配置角度相对应的形式，对所述倾斜支撑部的倾斜角度(tilting angle)进行调节，从而能够稳定保持支撑状态(夹持状态)，并能够准确控制基板的旋转条件。
- 旋转装置
- [实用新型]基板旋转装置-CN201621314230.6有效
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安俊镐;李昇奂
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K.C.科技股份有限公司
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2016-12-02
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2017-09-29
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H01L21/683
- 本实用新型涉及一种基板旋转装置，支撑圆形盘形状的基板的同时进行旋转的基板自旋装置，包括固定支撑部，其固定设置以便支撑基板的边缘位置一侧；可动支撑部，其以可朝与基板接近及分离的方向移动的方式设置并支撑相面对固定支撑部的基板的边缘位置另一侧；位置控制部，其在清洗刷子接触于基板的表面期间使可动支撑部从基板分离开来，并在清洗刷子未接触于基板的表面期间使可动支撑部接近于基板，由此能够得到如下效果防止由于支撑部的接触压力偏差而产生基板的变形及破损，并提高基板的清洗均匀度。
- 旋转装置
- [发明专利]基板保持旋转装置、基板处理装置-CN201610865262.3有效
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蒲裕充;泷昭彦
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株式会社斯库林集团
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2016-09-29
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2021-02-23
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H01L21/67
- 基板保持旋转装置包括将各可动销的支撑部施力至开放位置和保持位置中的一位置的施力单元，与各第一可动销组对应安装且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向磁极方向相同的第一驱动用磁铁、与各第二可动销组对应安装且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向与第一驱动用磁铁的磁极方向相反的第二驱动用磁铁、设置为非旋转状态且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向具有与第一驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向，由斥力或引力将第一可动销组的支撑部施力至另一位置的第一移动磁铁、设置为非旋转状态且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向具有在与第二驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向
- 保持旋转装置处理
- [发明专利]基板旋转对准装置-CN201510659366.4在审
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李亨培;安庆烈;朴喜载
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SNU精度株式会社
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2015-10-12
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2016-05-04
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H01L21/68
- 本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。
- 旋转对准装置
- [发明专利]基板旋转装载器-CN201610286548.6有效
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马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒辛格尔
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应用材料公司
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2016-05-03
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2022-02-08
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H01L21/677
- 本文中公开了一种用于装载基板于检查站中的方法和装置。在一个实施方式中，本文中公开了一种用于基板检查站的装载模块。所述装载模块包括两个臂、多个基板夹持器、两个可旋转支撑构件、输送装置和至少一个致动器。每个基板夹持器设置在每个臂的相应端部。每个可旋转支撑构件被耦接到所述臂中的相应一个臂。所述输送装置设置在所述可旋转支撑构件之间。所述至少一个致动器被配置成使所述臂围绕所述可旋转支撑构件旋转，以将所述夹持器选择性地定位在所述输送装置上方使由所述夹持器保持的基板得以被释放到所述输送装置上的位置。
- 旋转装载
- [发明专利]玻璃基板旋转装置-CN201811584263.6有效
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刘国保;李学锋;张旭;申晓庆;李晓辉
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东旭光电科技股份有限公司
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2018-12-24
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2021-01-01
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B24B37/27
- 本公开涉及一种玻璃基板旋转装置，包括底板、电机、旋转台，所述电机安装在底板上以用于驱动所述旋转台相对于所述底板旋转，所述玻璃基板旋转装置还包括位置检测装置，所述位置检测装置包括检测板、位置检测装置和控制器，所述检测板安装在所述旋转台上，所述位置检测装置安装在所述底板上，所述位置检测装置包括伸缩杆和接触头，所述接触头设置在所述伸缩杆的一端，所述检测板能够在所述旋转台的带动下与所述接触头接触并压缩所述伸缩杆，所述控制器用于根据所述伸缩杆的当前压缩量与预设压缩量的偏差控制所述旋转台正转或反转以消除所述偏差。本公开提供的玻璃基板旋转装置结构简单、旋转精度高，可以提高玻璃基板的旋转精度和成品率。
- 玻璃旋转装置
- [实用新型]玻璃基板旋转装置-CN202022362788.4有效
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史延锋;史延库
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苏州盟萤电子科技有限公司
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2020-10-22
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2021-06-18
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B65G49/06
- 本实用新型提供了一种玻璃基板旋转装置，用于将玻璃基板进行水平旋转，所述玻璃基板旋转装置包括机架、设于机架上的对位组件及旋转组件，所述对位组件用于将所述旋转组件上的玻璃基板进行移动对位，所述对位组件包括UVW平台及多个对位相机，所述旋转组件设于所述UVW平台上，所述旋转组件包括旋转平台、驱动所述旋转平台转动的驱动机构、设于所述旋转平台上的用于吸附固定所述玻璃基板的多个吸附部，所述吸附部包括支撑柱及设于所述支撑柱顶端的吸盘如此设置，不仅操作方便，而且可以减少玻璃基板运输中的破损率，降低生产成本。
- 玻璃旋转装置
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