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[发明专利]微波导入组件中的S参数取得方法和异常检测方法-CN201380036701.4有效
发明人：池田太郎;藤野丰;足立光;宫下大幸;长田勇辉;山本伸彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-06-11 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：等离子体处理装置(1)包括处理容器(2)和具有多个微波导入组件(61)的微波导入装置(5)。向多个微波导入组件(61)中的每个导入微波，基于该微波和从处理容器(2)反射至多个微波导入组件(61)的反射微波，求取多个微波导入组件(61)的每个组合的S参数。
微波导入组件中的参数取得方法异常检测

[发明专利]一种结构简单的家用微波炉腔体-CN200810202600.0无效
发明人：李纯杰;葛云;张益 -专利权人：上海松下微波炉有限公司
申请日： 2008-11-12 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： F24C7/02 文献下载
摘要：一种结构简单的家用微波炉腔体，包含炉腔1和波导管2，炉腔1的顶板101或者底板102上设置有微波导入口105，波导管2上设置有微波导入口201以及微波导出口202，波导管2的一端用于固定磁控管，另一端与腔体微波导入口201与磁控管配合而导出口202与炉腔1的微波导入口105配合将磁控管产生的微波导入炉腔1进行食物烹调或者加热，进入到炉腔1中微波的量及其分布状态可以通过调整波导管2及其上的微波导出口202以及炉腔1的微波导入口105的形状以及尺寸进行控制，从而不再需要转盘和微波搅拌装置。
一种结构简单家用微波炉

[发明专利]等离子体处理装置-CN201811043173.6有效
发明人：池田太郎;小松智仁;中入淳 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种利用通过微波生成的气体等离子体在处理容器的内部对被处理体进行处理的等离子体处理装置，其包括：从微波导入部导入微波的所述处理容器的微波导入面；和多个气体排出孔，其以包围所述微波导入部的方式以规定间隔配置在从所述微波导入面和与该微波导入面邻接的上述处理容器的面的边界线起表皮深度的范围内本发明的目的在于防止由微波的表面波导致的异常放电。
等离子体处理装置

[发明专利]微波等离子体源和等离子体处理装置-CN201110316506.X无效
发明人：池田太郎;长田勇辉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-10-18 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供一种极力抑制在处理容器内的由微波的驻波引起的影响，并在腔室内能够提高等离子体密度的均匀性的微波等离子体源和使用其的等离子体处理装置。微波等离子体源(2)具有微波供给部(40)，微波供给部(40)具有：将微波导入处理容器内的多个微波导入机构(43)；和多个相位器(46)，其调整分别向多个微波导入机构(43)输入的微波的相位，通过多个相位器(46)调整输入多个微波导入机构(43)的微波的相位，关于多个微波导入机构(43)中邻接的微波导入机构，固定一个的微波的输入相位使另一个的微波的输入相位按照周期性波形变化。
微波等离子体处理装置

[发明专利]一种双腔双门微波炉及其控制方法-CN201910166277.4在审
发明人：陈喜;鲍鑫;李朋贺;李维雨;何子悦 -专利权人：惠而浦（中国）股份有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种双腔双门微波炉，包括第一腔体、第一天线搅拌器、磁控管、第二天线搅拌器、第二腔体、波导、第一微波导入组件、第二微波导入组件、微波炉外壳，微波炉外壳内侧中部设置磁控管，磁控管固定安装在波导上部，波导与微波炉外壳固定安装。本发明通过第一微波导入组件与第二微波导入组件协同工作，通过第二电机、第四电机转动带动第一金属轴、第二金属轴进入波导口，第一金属轴将微波导入第一腔体、第二金属轴将微波导入第二腔体，天线搅拌器使微波均匀分布在腔体内，通过控制第二电机、第四电机正反转实现第一金属轴、第二金属轴将微波是否导入腔体内部，实现了单、双腔的工作模式，且同时两个腔之间互不干扰，方便用户使用。
微波导入金属轴微波炉外壳磁控管搅拌器波导天线双门微波炉第二腔体第一腔体双腔微波电机电机正反转电机转动工作模式互不干扰用户使用组件协同波导口单双导入腔体内部体内

[实用新型]一种双腔双门微波炉-CN201920279165.5有效
发明人：陈喜;鲍鑫;李朋贺;李维雨;何子悦 -专利权人：惠而浦（中国）股份有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H05B6/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双腔双门微波炉，包括第一腔体、第一天线搅拌器、磁控管、第二天线搅拌器、第二腔体、波导、第一微波导入组件、第二微波导入组件、微波炉外壳，微波炉外壳内侧中部设置磁控管，磁控管安装在波导上部，波导与微波炉外壳固定安装。本实用新型通过第一微波导入组件与第二微波导入组件协同工作，通过第二电机、第四电机转动带动第一金属轴、第二金属轴进入波导口，第一金属轴将微波导入第一腔体、第二金属轴将微波导入第二腔体，天线搅拌器使微波均匀分布在腔体内，通过控制第二电机、第四电机正反转实现第一金属轴、第二金属轴将微波是否导入腔体内部，实现了单、双腔的工作模式，且同时两个腔之间互不干扰，方便用户使用。
一种双腔双门微波炉

[发明专利]一种超声波及微波提取系统及工艺-CN201410276997.3有效
发明人：林学芹 -专利权人：林学芹
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种超声波及微波提取系统及工艺，具有协同调控装置，协同调整装置先控制微波导入装置导入微波，一定时间后，第一报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制超声波导入装置导入超声波；再过一定时间后，第二报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制微波导入装置和超声波导入装置改变其运行功率；第三报警装置在微波导入装置和超声波导入装置以改变后的运行功率工作一定时间后向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置先控制微波导入装置停止工作，后控制超声波导入装置停止工作。该系统对超声波和微波的导入时间、导入顺序、导入功率以及关闭时间进行严格控制，从而达到超声波与微波的最佳匹配效果。
一种超声波及微波提取系统工艺

[发明专利]一种超声波及微波提取工艺-CN201410277157.9有效
发明人：林学芹 -专利权人：林学芹
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种超声波及微波提取工艺，具有协同调控装置，协同调整装置先控制微波导入装置导入微波，一定时间后，第一报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制超声波导入装置导入超声波；再过一定时间后，第二报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制微波导入装置和超声波导入装置先后改变其运行功率；第三报警装置在微波导入装置和超声波导入装置以改变后的运行功率工作一定时间后向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置先控制微波导入装置停止工作，后控制超声波导入装置停止工作。该系统对超声波和微波的导入时间、导入顺序、导入功率以及关闭时间进行严格控制，从而达到超声波与微波的最佳匹配效果。
一种超声波及微波提取工艺

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置及系统-CN202210489274.6在审
发明人：李嘉锋;陈浩;侯少毅 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本公开涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置及系统。微波等离子体化学气相沉积装置包括：矩形波导，矩形波导包括多条微波传输路径，多条微波传输路径共用微波导入端口，多条微波传输路径的微波导出端口分立设置，微波导入端口用于将导入的微波经由对应的微波传输路径传导至对应的微波导出端口；等离子体反应腔体，等离子体反应腔体包括多个微波进入端口，微波导出端口与微波进入端口一一对应连通；多个电磁转换结构，电磁转换结构对应微波导出端口与微波进入端口的连通位置设置并与矩形波导接触设置。本公开的技术方案，有利于提高传导微波的能量容量，进而增加了等离子体反应腔体内的能量导入，提高了等离子体反应的均匀性。
微波等离子体化学沉积装置系统

[发明专利]微波处理装置及其控制方法-CN201210330294.5有效
发明人：芦田光利 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-09-07 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种微波处理装置及其控制方法，能够使多个微波源与处理容器之间的阻抗匹配的精度提高。微波处理装置（1）具备：收容晶片（W）的处理容器（2）；生成用于处理晶片（W）的微波并导入到处理容器（2）的微波导入装置（3）；和控制微波导入装置（3）的控制部（8）。微波导入装置（3）具有：生成微波的多个磁控管（31）；和将在多个磁控管（31）中生成的微波传送到处理容器（2）的多个波导管（32），多个微波能够同时被导入处理容器（2）。控制部（8）在将多个微波同时导入处理容器（2）的第一状态继续的期间，有选择地且暂时地切换为在多个磁控管（31）中的1个中生成微波，仅将该微波导入处理容器（2）的第二状态。
微波处理装置及其控制方法

[发明专利]一种中药材超声波及微波提取系统及提取工艺-CN201410284414.1有效
发明人：王茜南;王永和 -专利权人：王茜南
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本发明提供中药材超声波及微波提取系统，具有协同调控装置，协同调控装置上设置第一报警装置、第二报警装置以及第三报警装置，协同调整装置控制先微波导入装置导入微波，一定时间后，第一报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制超声波导入装置导入超声波；再过一定时间后，第二报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制微波导入装置和超声波导入装置改变其运行功率，使运行功率分别低于其初始功率；第三报警装置在微波导入装置和超声波导入装置以改变后的运行功率工作一定时间后向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置先控制微波导入装置停止工作，后控制超声波导入装置停止工作。通过设置协同调控装置，对超声波和微波的导入时间、导入顺序、导入功率以及关闭时间进行严格控制，从而达到超声波与微波的最佳匹配效果。
一种中药材超声波及微波提取系统工艺

[发明专利]一种具有回流装置的超声波及微波提取系统-CN201410284374.0有效
发明人：王茜南;王永和 -专利权人：王茜南
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本发明提供中药材超声波及微波提取系统，具有协同调控装置，协同调控装置上设置第一报警装置、第二报警装置以及第三报警装置，协同调整装置控制先微波导入装置导入微波，一定时间后，第一报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制超声波导入装置导入超声波；再过一定时间后，第二报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制微波导入装置和超声波导入装置改变其运行功率，使运行功率分别低于其初始功率；第三报警装置在微波导入装置和超声波导入装置以改变后的运行功率工作一定时间后向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置先控制微波导入装置停止工作，后控制超声波导入装置停止工作。通过设置协同调控装置，对超声波和微波的导入时间、导入顺序、导入功率以及关闭时间进行严格控制，从而达到超声波与微波的最佳匹配效果。
一种具有回流装置超声波及微波提取系统

[发明专利]一种改进的中药材超声波及微波提取系统-CN201410284431.5有效
发明人：王茜南;王永和 -专利权人：王茜南
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本发明提供中药材超声波及微波提取系统，具有协同调控装置，协同调控装置上设置第一报警装置、第二报警装置以及第三报警装置，协同调整装置控制先微波导入装置导入微波，一定时间后，第一报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制超声波导入装置导入超声波；再过一定时间后，第二报警装置向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置控制微波导入装置和超声波导入装置改变其运行功率，使运行功率分别低于其初始功率；第三报警装置在微波导入装置和超声波导入装置以改变后的运行功率工作一定时间后向协同调控装置发出报警信号，协同调控装置先控制微波导入装置停止工作，后控制超声波导入装置停止工作。通过设置协同调控装置，对超声波和微波的导入时间、导入顺序、导入功率以及关闭时间进行严格控制，从而达到超声波与微波的最佳匹配效果。
一种改进中药材超声波及微波提取系统

[发明专利]气溶胶产生组件和气溶胶产生装置-CN202210278441.2在审
发明人：罗帅;蓝永海;程志文;王晓勇 -专利权人：深圳麦克韦尔科技有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种气溶胶产生组件和气溶胶产生装置，气溶胶产生组件包括：座体；导体件，导体件与座体连接，并与座体合围出容纳腔；导液件，设于容纳腔内，导液件包括雾化腔，导液件用于容置气溶胶产生基质；微波组件，微波组件包括微波导入网，微波导入网设于雾化腔内，导液件位于导体件与微波导入网之间，微波导入网用于向导液件馈入微波。本发明提供的气溶胶产生组件，使得微波集中在导液件附近，进而导液件上的气溶胶产生基质雾化的更均匀，避免气溶胶产生基质因高温而产生碳化，提升了雾化效果，微波导入网的设置还能够保证雾化后的气溶胶产生基质由微波导入网的网孔流向雾化腔
气溶胶产生组件和气溶胶装置

[实用新型]气溶胶产生组件和气溶胶产生装置-CN202220616663.6有效
发明人：罗帅;蓝永海;程志文;王晓勇 -专利权人：深圳麦克韦尔科技有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气溶胶产生组件和气溶胶产生装置，气溶胶产生组件包括：座体；导体件，导体件与座体连接，并与座体合围出容纳腔；导液件，设于容纳腔内，导液件包括雾化腔，导液件用于容置气溶胶产生基质；微波组件，微波组件包括微波导入网，微波导入网设于雾化腔内，导液件位于导体件与微波导入网之间，微波导入网用于向导液件馈入微波。本实用新型提供的气溶胶产生组件，使得微波集中在导液件附近，进而导液件上的气溶胶产生基质雾化的更均匀，避免气溶胶产生基质因高温而产生碳化，提升了雾化效果，微波导入网的设置还能够保证雾化后的气溶胶产生基质由微波导入网的网孔流向雾化腔
气溶胶产生组件和气溶胶装置

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