|
钻瓜专利网为您找到相关结果 398597个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种自动上下料单台面双工位曝光机-CN202010151962.2在审
-
张雷
-
苏州源卓光电科技有限公司
-
2020-03-06
-
2020-06-12
-
G03F7/20
- 本发明公开了一种自动上下料单台面双工位曝光机,包括曝光系统、基板承载台、多轴运动系统、上料缓存工位、下料缓存工位、第一上料搬运组件、第二上料搬运组件、第一下料搬运组件和第二下料搬运组件,上料缓存工位与下料缓存工位分别位于基板承载台的两侧,基板承载台上设置有第一工位和第二工位,第二上料搬运组件和第一下料搬运组件搬运第一工位上的基板,第一上料搬运组件和第二下料搬运组件搬运第二工位上的基板。本发明与普通单台面技术相比,可以进行两块基板的同时上料和下料,极大提升了单机设备产能,上料缓存工位和下料缓存工位仅需容纳一块基板,减少了缓存工位的数量减少,大大降低了设备占地面积,提高了空间利用率。
- 一种自动上下台面双工曝光
|