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- [实用新型]一种热能回收装置-CN201920703044.9有效
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朱肖华;付增学;于祥一;刘茂琦
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厦门蜂涛陶瓷有限公司
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2019-05-16
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2020-05-12
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A24F40/46
- 本实用新型提供了一种热能回收装置,包括氧化铝陶瓷管本体,所述氧化铝陶瓷管本体中心设有加热元件,其特征在于:所述氧化铝陶瓷管本体的侧壁内设有蜂窝状多孔通道;所述多孔通道将氧化铝陶瓷管本体分成外壁和内壁,形成氧化铝蜂窝陶瓷环本实用新型的热能回收装置,通过采用薄壁高纯氧化铝陶瓷为材料,使其导热率大大的提升,采用蜂窝陶瓷环形状,使陶瓷与空气接触面积大幅增加。当加热元件进行加热后,氧化铝陶瓷本体首先被加热,多孔通道内的空气被后加热,进行抽吸时,加热元件内的高温气体被优先抽走,常温空气流入氧化铝陶瓷管本体内的蜂窝状多孔通道进一步带走氧化铝陶瓷本体的热量,实现热量的回收
- 一种热能回收装置
- [发明专利]一种晶圆承载平台-CN202210670454.4在审
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产文兵;郑军
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聚时科技(上海)有限公司
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2022-06-14
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2022-08-30
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H01L21/683
- 本发明涉及晶圆加工技术领域,尤其涉及一种晶圆承载平台,包括马达、氧化铝多孔陶瓷、气滑环,所述氧化铝多孔陶瓷通过支撑环安装在马达上,所述气滑环设置在马达的中空位置,所述气滑环与氧化铝多孔陶瓷底部的密封板连接,且气滑环的可水平旋转的气管接口穿过密封板为氧化铝多孔陶瓷提供真空吸附晶圆,所述马达用于带动氧化铝多孔陶瓷水平旋转。本发明通过分布于氧化铝致密陶瓷的气道分隔812寸晶圆吸附功能,接触面氧化铝多孔陶瓷则具有较高孔隙率及通孔率保证吸附翘曲较大的晶圆,气滑环能够很好的保证平台面需要旋转360°工况。
- 一种承载平台
- [发明专利]一种辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件-CN202011140678.1在审
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王兵
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新化县天宇电子陶瓷厂
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2020-10-22
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2022-04-22
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B28B3/02
- 本发明提供一种辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件,属于陶瓷应用设备技术领域,包括滑台、滑轮、工作台、工作板和支撑柱,滑台的上方分别活动安装有滑轮,滑台的右侧设有工作台,且工作台与滑台固定连接。该种辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件通过结构的改进,使本装置在实际使用时,便于现有的辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件在加工完成后取出,提高了多孔氧化铝陶瓷件的工作效率,操作过程简便,有利于实际使用,且便于现有的辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件在取出后移动存放,改善了需要人工手动操作搬运的情况,避免了使多孔氧化铝陶瓷件损坏,进而使得该种辅助电气自动化的多孔氧化铝陶瓷件实际使用效果更佳。
- 一种辅助电气自动化多孔氧化铝陶瓷
- [实用新型]一种晶圆承载平台-CN202221480439.5有效
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产文兵;郑军
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聚时科技(上海)有限公司
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2022-06-14
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2022-11-08
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H01L21/683
- 本实用新型涉及晶圆加工技术领域,尤其涉及一种晶圆承载平台,包括马达、氧化铝多孔陶瓷、气滑环,所述氧化铝多孔陶瓷通过支撑环安装在马达上,所述气滑环设置在马达的中空位置,所述气滑环与氧化铝多孔陶瓷底部的密封板连接,且气滑环的可水平旋转的气管接口穿过密封板为氧化铝多孔陶瓷提供真空吸附晶圆,所述马达用于带动氧化铝多孔陶瓷水平旋转。本实用新型通过分布于氧化铝致密陶瓷的气道分隔812寸晶圆吸附功能,接触面氧化铝多孔陶瓷则具有较高孔隙率及通孔率保证吸附翘曲较大的晶圆,气滑环能够很好的保证平台面需要旋转360°工况。
- 一种承载平台
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