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- [发明专利]喷淋型气相生长装置及其气相生长方法-CN201080004236.2无效
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坪井俊树
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夏普株式会社
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2010-01-28
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2011-12-07
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H01L21/205
- 本发明的喷淋型气相生长装置包括：用于装载和搬送覆盖板(26)的搬送叉(40)；设在与搬送叉(40)相反侧的保持部件(50)，其用于接收和装载保持由搬送叉(40)搬送的覆盖板(26)。在覆盖板(26)的外周上形成有两对以上的搬送叉侧切口(26a、26a)以及保持部件侧切口(26b、26b)，而且在搬送叉(40)以及保持部件(50)上分别设有至少一对与所述切口相对应的定位突起(46、46由此，易于对搬送对象物的搬送方向以及旋转方向进行限制，以及确立高精度且复杂的搬送对象物搬送方法，从而能够提供搬送信赖性较高的喷淋型气相生长装置及其气相生长方法。
- 喷淋相生装置及其方法
- [发明专利]成膜装置-CN202111451104.0有效
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砂川贵宏;佐藤功康
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佳能特机株式会社
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2021-12-01
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2023-09-29
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C23C14/24
- 提供在确保用于蒸镀源的放出空间的同时具有高的附着防止性能的直列型的成膜装置的附着防止构件。一边沿搬送方向搬送基板一边进行成膜的直列型的成膜装置具有：搬送装置，具备搬送辊，该搬送辊与载置基板的掩模托盘的下表面且与基板的搬送方向交叉的交叉方向的两端部抵接而搬送掩模托盘；蒸镀装置，配置在搬送装置的下方，具有向由搬送辊搬送的基板放出蒸镀材料的蒸镀源；以及附着防止构件，限制蒸镀源放出蒸镀材料的放出范围，附着防止构件包括：第一面，与搬送辊的侧面相向，该侧面在由搬送辊搬送的基板的交叉方向上位于中心侧；以及第二面，与连接于第一面且与搬送辊的下方周面相向。
- 装置
- [发明专利]作业装置-CN201510527742.4有效
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生岛和正
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武藏工业株式会社
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2010-08-30
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2018-02-02
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B05C13/00
- 本发明提供一种既能够使用为具有工件搬送机构的全自动型作业用装置，也能够使用为以手动进行工件装卸的半自动型装置(桌上型机器人)，而能够灵活地应对生产量的作业装置。本发明的作业装置中的全自动型作业装置，具备有台架，配设有搬送工件的搬送单元；以及桌上型作业装置单元，装卸自如地配设于台架；所述作业装置的特征在于桌上型作业装置单元具备有保持工件的工件保持部、作业头、以及使工件保持部与作业头进行相对移动的相对移动机构；并且，能够单独地对工件保持部所保持的工件进行所需作业；以及工件保持部具有与搬送单元连接的搬送位置、以及离开搬送单元并对工件进行所需作业的作业位置。
- 作业装置
- [发明专利]作业装置-CN201080038407.3有效
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生岛和正
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武藏工业株式会社
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2010-08-30
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2012-06-13
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B05C13/00
- 课题：本发明提供一种既能够使用为具有工件搬送机构的全自动型作业用装置，也能够使用为以手动进行工件装卸的半自动型装置(桌上型机器人)，而能够灵活地应对生产量的作业装置。解决方法：本发明的作业装置中的全自动型作业装置，具备有：台架，配设有搬送工件的搬送单元；以及桌上型作业装置单元，装卸自如地配设于台架；所述作业装置的特征在于：桌上型作业装置单元具备有：保持工件的工件保持部、作业头、以及使工件保持部与作业头进行相对移动的相对移动机构；并且，能够单独地对工件保持部所保持的工件进行所需作业；以及工件保持部具有：与搬送单元连接的搬送位置、以及离开搬送单元并对工件进行所需作业的作业位置
- 作业装置
- [发明专利]一种O型圈错位装配装置-CN201510853903.9在审
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胥家军
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苏州研高自动化科技有限公司
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2015-11-30
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2016-02-03
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B65G47/74
- 本发明涉及装配技术领域，尤其是一种O型圈错位装配装置，包括错位横移机构和搬送机构，横移机构包括底板，底板后部垂直连接有立板，立板上部设置有滑轨，滑轨套装有横移装置；搬送机构包括支撑框架，支撑框架上部设置有横板，横板右侧面上下部均设置有滑道，滑道套装有搬送装置所述搬送装置上部设置有第一液压缸和所述搬送装置前部设置有第二液压缸。本发明通过传感器进行有无料分析，在有料的情况下，横移装置对O型圈进行横移搬送，通过搬送装置对O型圈进行抓取和横移，最后利用夹爪进行套取，在通过传感器对套在溢流管上的O型圈进行位置测量，结构简单，同时具有很强的实用性
- 一种错位装配装置
- [发明专利]基板搬送装置和基板搬送方法-CN200910130839.6无效
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饭田成昭
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东京毅力科创株式会社
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2007-01-08
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2009-10-07
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H01L21/677
- 本发明提供一种能以低成本制造、且能抑制用于搬送基板的气体的消耗量的气体浮起型的基板搬送装置。该基板搬送装置包括：形成基板的搬送路径的搬送路径部件；在该搬送路径部件的上面、沿搬送路径形成的排气槽；气流形成槽，在搬送路径部件的上面左右相互成对，该对沿搬送路径设置有多个，各自随着朝向基板的搬送方向而接近排气槽，其一端与该排气槽合流；和气体吐出孔，在该气流形成槽的另一端穿孔而形成，用于形成向基板提供浮力、并从气流形成槽的另一端向一端的搬送基板用的气流。来自气体吐出孔的气体向基板提供浮力并在气流形成槽中流动，由此基板受到推进力而被搬送。沿搬送方向分割搬送路径，对各区域控制气体吐出，能抑制气体的消耗量。
- 基板搬送装置方法
- [发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法和计算机程序-CN200710001579.3无效
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饭田成昭
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东京毅力科创株式会社
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2007-01-08
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2007-07-11
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H01L21/677
- 本发明提供一种能以低成本制造、且能抑制用于搬送基板的气体的消耗量的气体浮起型的基板搬送装置。该基板搬送装置包括：形成基板的搬送路径的搬送路径部件；在该搬送路径部件的上面、沿搬送路径形成的排气槽；气流形成槽，在搬送路径部件的上面左右相互成对，该对沿搬送路径设置有多个，各自随着朝向基板的搬送方向而接近排气槽，其一端与该排气槽合流；和气体吐出孔，在该气流形成槽的另一端穿孔而形成，用于形成向基板提供浮力、并从气流形成槽的另一端向一端的搬送基板用的气流。来自气体吐出孔的气体向基板提供浮力并在气流形成槽中流动，由此基板受到推进力而被搬送。沿搬送方向分割搬送路径，对各区域控制气体吐出，能抑制气体的消耗量。
- 基板搬送装置方法计算机程序
- [实用新型]一种O型圈错位装配装置-CN201520971464.7有效
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胥家军
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苏州研高自动化科技有限公司
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2015-11-30
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2016-06-01
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B65G47/74
- 本实用新型涉及装配技术领域，尤其是一种O型圈错位装配装置，包括错位横移机构和搬送机构，横移机构包括底板，底板后部垂直连接有立板，立板上部设置有滑轨，滑轨套装有横移装置；搬送机构包括支撑框架，支撑框架上部设置有横板，横板右侧面上下部均设置有滑道，滑道套装有搬送装置所述搬送装置上部设置有第一液压缸和所述搬送装置前部设置有第二液压缸。本实用新型通过传感器进行有无料分析，在有料的情况下，横移装置对O型圈进行横移搬送，通过搬送装置对O型圈进行抓取和横移，最后利用夹爪进行套取，在通过传感器对套在溢流管上的O型圈进行位置测量，结构简单，同时具有很强的实用性
- 一种错位装配装置
- [实用新型]中央省略型搬送装置-CN201620175234.4有效
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北田和生;西乡公史;竹田觉
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日东电工株式会社
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2016-03-08
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2016-11-23
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B65G13/00
- 本实用新型提供一种中央省略型搬送装置，其设置于液晶显示面板的制造装置中，用于搬送液晶单元，具有：驱动装置；驱动传递装置；多个驱动轴，其以沿液晶单元的搬送方向间隔地排列成多列的方式一端连接于驱动传递装置，从而经由驱动传递装置，接受来自驱动装置的转动；多个搬送辊，其为树脂制的，间隔地设置在多个所述驱动轴上，构成支承并搬送所述液晶单元的搬送面；轴承，其以使多个所述驱动轴能够转动的方式分别轴支承多个所述驱动轴的另一端；在所述搬送面中，多个所述搬送辊中的位于与所述液晶单元的搬送方向垂直的方向上的、最中央的相邻两个搬送辊之间的间隔大于其他任意相邻两个搬送辊之间的间隔、且小于确保液晶单元不会掉落的规定间隔。
- 中央省略型搬送装置
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