专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种滞后下的发酵过程生物在线检测方法-CN201610836008.0有效
  • 赵利强;苏安东;王建林;于涛 - 北京化工大学
  • 2016-09-20 - 2019-02-12 - G01R23/165
  • 一种滞后下的发酵过程生物在线检测方法,通过容积卡尔曼滤波对发酵过程生物进行状态估计;利用离线分析结果在主要采样时刻进行容积卡尔曼滤波更新和修正;经过递推计算将估计结果从采样时刻递推到主要时刻;求取主要包含的特有信息;将主要含有的特有信息和次要估计结果进行协方差融合,获得既包含次要信息又包含量滞后信息的状态估计结果,实现量滞后下的发酵过程生物在线检测。本发明在基于容积卡尔曼滤波器的发酵过程软测量技术基础上,采用协方差融合算法将滞后生物信息引入发酵过程状态估计过程,提高了发酵过程生物在线检测精度。
  • 一种滞后发酵过程生物量在线检测方法
  • [发明专利]设备离线编程系统及方法-CN200510033620.6无效
  • 曾凡建 - 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
  • 2005-03-11 - 2006-09-13 - G01B21/00
  • 本发明提供一种设备离线编程方法,该方法包括:离线建立尺寸输出格式及完成尺寸输出部分;建立每种尺寸输出格式所对应的机台软件程式码的格式转换关系;在线完成尺寸要素部分,生成尺寸要素档;将尺寸输出部分经过格式转换加载至尺寸要素档,合成完整的程序。在该方法中,还包括改编旧有程序的功能,步骤如下:从旧程序中将尺寸输出部分分离出来;修改上述分离出的尺寸输出档;加载修改后的输出尺寸档到旧尺寸要素档中。本发明还提供一种设备离线编程系统。实施本发明可缩短影像作业在线编程时间,提升旧有程序的利用率、影像工作排配的灵活性及设备利用率。
  • 设备离线编程系统方法
  • [发明专利]离子注入工艺在线监控方法及监控系统-CN202010729797.4在审
  • 汪浩;张立 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-07-27 - 2020-10-16 - H01L21/66
  • 本发明公开了一种离子注入工艺在线监控方法,包括在晶圆的芯片单元中选择至少一个作为单元;每个单元中定义有至少一个测位置,每个测位置对应监测预设区域的某一种工艺阶段的JPV方块电阻;选定工艺执行光刻步骤同时将该工艺对应单元的位置曝光;执行离子注入工艺步骤同时对单元位置完成离子注入;进行去胶和清洗工艺,在退火工艺之后,对单元该选定工艺对应的测位置进行JPV方块电阻;根据JPV方块电阻值和阈值判断是否发生工艺异常。本发明还公开了一种离子注入工艺在线监控系统。本发明能准确对整个生产流程中各工艺阶段的离子注入工艺进行在线监控,保证工艺的稳定性和可靠性,确保产品的良率与品质。
  • 离子注入工艺在线监控方法系统
  • [发明专利]CMP研磨速率的精确方法-CN201310391169.X在审
  • 范怡平 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2013-09-02 - 2015-03-18 - B24B49/00
  • 本发明是一种CMP研磨速率的精确方法,涉及半导体生产,尤其是晶圆的CMP方法,是基于在线晶圆产品的多点机方法,通过在晶圆表面设定量极点作为APC系统的研磨速率点,其特征在于,所述的极点是等距离布置在穿过晶圆表面中心的任意直线上的多个点本发明可使OxideCMP在线机的研磨速率准确度大大提升,真实地反映OxideCMP的RR正常的升高、降低,从而提升APC自动下研磨时间的准确度,减少产品最终膜厚的不稳定影响,极大地改善在线产品的良品率、减少返工率、增加机台的有效时间;还能兼顾到通过机来查看片内的均匀性。
  • cmp研磨速率精确方法
  • [发明专利]一种在线检测碳含量的方法、装置及其应用-CN202010106072.X有效
  • 孟霜鹤;叶茂;黄凯;刘中民 - 中国科学院大连化学物理研究所
  • 2020-02-20 - 2022-04-29 - G01N27/22
  • 本申请公开了一种在线检测碳含量的方法,包括:a)根据多个含碳不同的标准样品,确定含碳‑电容值关系曲线方程;b)在线测量待样品的电容特征值;c)根据所述关系曲线方程,通过所述待样品的电容值确定所述待样品的含碳本申请还提供了该方法的应用和实现在线检测碳含量方法的装置。该方法采用电容层析成像技术,利用催化剂不同积碳对应介电常数存在的差异,通过与热重法比对,得出电容值与之相对应含碳的对应关系,ECT传感器只需即时在线测量电极间的电容值,将其代入电容值与催化剂含碳拟合曲线方程,从而实现在线测定固体催化剂中积碳含量。此方法简单直观,可满足高温状态下催化剂积碳在线快速检测。
  • 一种在线检测含量方法装置及其应用
  • [实用新型]一种在线高度差设备装置-CN201922071035.5有效
  • 罗金龙;夏勇;张巍;邢万长 - 武汉楚冠捷汽车科技有限公司
  • 2019-11-26 - 2020-06-23 - G01B21/02
  • 本实用新型公开了一种在线高度差设备装置,包括控制柜,所述控制柜的上方设置测量组件;所述测量组件包括位移组件、安装座、固定板、对接板、定制头、位移传感器和固定件,安装座安装于控制柜上方,安装座内设置位移组件,位移组件的下方连接固定板,固定板的下方设置定制头,固定板一端固定连接对接板,对接板的侧边安装位移传感器,位移传感器通过固定件安装于对接板上。本实用新型一种在线高度差设备装置,节省了在线作业时间,提高精度,节省了人工数据记录动作,通过设置密封圈减少导向时对安装座的磨损,且增大摩擦,保证固定板移动的稳定性,避免测量时出现晃动。
  • 一种在线高度差量测设备装置

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