专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光学装置-CN201910845871.6在审
  • 太田健史;生田凉 - 佳能株式会社
  • 2019-09-09 - 2020-03-24 - G02B26/10
  • 为了高速且高精度地控制光的焦点位置,光学装置包括:第一反射101,被配置为能够绕旋转轴104旋转并反射光;第二反射102,被配置为能够绕旋转轴104旋转、面对第一反射101并反射来自第一反射101的光;第三反射114,将来自第二反射102的光返回到第二反射102;以及,控制单元120,被配置为:通过在保持第一反射101和第二反射102之间的相对布置的状态下使第一反射101和第二反射102绕旋转轴104旋转,来控制经由第二反射102从第三反射114返回到第一反射101的光在光轴方向上的焦点位置。
  • 光学装置
  • [发明专利]投射曝光设备的光学系统-CN202010016457.7在审
  • M.帕特拉 - 卡尔蔡司SMT有限责任公司
  • 2020-01-07 - 2020-07-17 - G03F7/20
  • 光学系统包括:至少一个影响偏振的布置,其至少具有一个第一双反射单元和一个第二双反射单元,它们各具有第一反射和第二反射。在相同的双反射单元内,第一反射和第二反射以距离d1且以0°±10°的角度直接相邻地布置。第一双反射单元的第一反射和第二双反射单元的第二反射以距离d2且以0°±10°的角度直接相邻地布置。在第一反射上入射的光与第一反射形成的角度为43°±10°,特别是43°±5°。在操作光学系统期间,将在第一双反射单元的第一反射上入射的光反射朝向第二双反射单元的第二反射。对于距离d1和d2,以下是成立的:d2>5*d1。
  • 投射曝光设备光学系统
  • [发明专利]用于量测的反射折射照射系统-CN201110169124.9有效
  • S·Y·斯米诺夫;Y·K·什马利威 - ASML控股股份有限公司
  • 2011-06-22 - 2011-12-28 - G02B17/08
  • 本发明公开了一种用于量测的反射折射照射系统。一种反射折射光学系统在宽的光谱范围中操作。在实施例中,反射折射光学系统包括:第一反射,定位和配置成反射辐射;第二反射,定位和配置成将从所述第一反射反射的辐射反射作为准直束,所述第二反射具有孔阑以允许辐射透射穿过所述第二反射;和通道结构,从所述孔阑朝向所述第一反射延伸,且具有在所述第一反射和第二反射之间的出口,以将辐射供给至所述第一反射
  • 用于反射折射照射系统
  • [发明专利]成像单元-CN201210446106.5无效
  • 野村博 - HOYA株式会社
  • 2012-11-08 - 2013-05-08 - G03B17/17
  • 本发明提供了一种成像单元,包括:入射侧光学系统;入射侧棱镜,包括第一反射、第一出射表以及与入射侧光学系统的光轴正交的第一入射表;出射侧棱镜,包括第二入射表、第二反射以及第二出射表,第二出射表与光轴正交并且被第二反射反射的光线从第二出射表射出;以及图像传感器,其接收从第二出射表射出的光线。第一入射表比第二出射表更靠近摄像物体。平行光线在第一反射处在光轴上的偏转角大于90°,并且平行光线在第二反射处的偏转角小于90°。
  • 成像单元
  • [发明专利]成像光学系统、曝光装置和制品制造方法-CN202110775374.0在审
  • 河野道生 - 佳能株式会社
  • 2021-07-09 - 2022-01-11 - G03F7/20
  • 成像光学系统包括调节器,所述调节器用于通过向至少两个反射中的每个反射的后表面施加力来调节每个反射的形状。通过在相对于所述反射定义的光轴方向上投影所述调节器的力作用点而获得的点被定义为校正点,所述作用点被设置为使得:当从物平面上的一个点发射的光束中的第一光线和第二光线被第一反射和第二反射反射时,第一光线射中第一反射的校正点但不射中第二反射的校正点,以及第二光线不射中第一反射的校正点但射中第二反射的校正点。
  • 成像光学系统曝光装置制品制造方法
  • [发明专利]照明装置-CN201680050645.3有效
  • 金银华 - LG伊诺特有限公司
  • 2016-08-19 - 2020-07-10 - F21K9/20
  • 本发明的示例性实施例包括:发光部件,该发光部件包括板和设置在板的上表面上的多个发光器件;第一反射,该第一反射位于发光部件的一侧上;第二反射,该第二反射位于发光部件的另一侧上,其中第一反射和第二反射包括具有抛物线形状的反射部件;以及透镜,该透镜设置在第一反射和第二反射之间的发光部件上,并且发光器件中的每个被布置成与抛物线形状的焦点对准,并且反射部件的高度通过等式1来定义。
  • 照明装置

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