|
钻瓜专利网为您找到相关结果 945579个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]测量夹具及测量系统-CN202110694114.0在审
-
伍拥军
-
东莞市新美洋技术有限公司
-
2021-06-22
-
2022-12-23
-
G01B11/02
- 本发明提供一种测量夹具,包括产品支撑板和固定于所述产品支撑板边角处的多个支撑脚;所述产品支撑板上设有多个安装腔,所述产品支撑板靠近所述支撑脚的一侧依次设有镶件固定板和插针固定板。所述镶件固定板与所述安装腔对应的位置分别设有测量镶件组件,所述测量镶件组件包括设置于所述安装腔内的两个测量镶件。所述插针固定板与所述测量镶件组件对应的位置分别设有插针。还提供一种测量系统,包括上述的测量夹具。本发明提供的测量夹具可自动夹紧所有卡扣,其测量系统测量精度高,速度快,减少了人工操作,节约了生产成本。
- 测量夹具系统
- [发明专利]扫描散射测量叠盖测量-CN202180086549.5在审
-
A·V·希尔;A·玛纳森
-
科磊股份有限公司
-
2021-12-24
-
2023-09-19
-
G01N21/95
- 一种叠盖度量系统可包含照明子系统,所述照明子系统用以利用第一照明瓣及与所述第一照明瓣对置的第二照明瓣依序对叠盖目标进行照明,其中所述叠盖目标包含从第一样本层及第二样本层上的周期性结构形成的光栅上覆光栅特征。所述系统可进一步包含用以产生所述叠盖目标的第一图像及第二图像的成像子系统。所述第一图像包含所述光栅上覆光栅结构的从所述第一照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述第二图像包含所述一或多个光栅上覆光栅结构的从所述第二照明瓣的单个非零衍射级形成的未解析图像。所述系统可进一步包含用以基于所述第一图像及所述第二图像而确定所述第一层与所述第二层之间的叠盖误差的控制器。
- 扫描散射测量
|