专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202111289390.5在审
  • 泽地淳;小笠原幸辅 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-11-02 - 2022-05-10 - H01L21/67
  • 本发明提供一种处理装置和处理方法,用于削减在搬送室的周围设置有多个气体处理室的基板的处理装置中的向所述气体处理室供给处理气体的气体箱的设置数量。对基板进行处理处理装置具有:多个处理室,在所述多个处理室中在期望的处理气体的气氛下对所述基板进行处理;多个罐单元,所述多个罐单元与多个所述处理室分别对应地设置,所述罐单元具备用于临时储存所述处理气体的多个罐;以及气体箱,其经由所述罐单元向所述处理室供给处理气体。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202210071453.8在审
  • 五十岚玲太 - 东京毅力科创株式会社
  • 2022-01-21 - 2022-08-02 - C23C16/455
  • 本发明涉及处理装置和处理方法。提供一种能够调整针对基板的气体供给的面间均匀性的技术。本公开的一形态的处理装置具备:处理容器,其具有大致圆筒形状;喷射器,其沿着所述处理容器的内壁内侧在长度方向上延伸设置,该喷射器具有用于导入处理气体的多个导入口和将自该多个导入口导入的所述处理气体向所述处理容器内喷出的多个气体孔;以及控制部,其使自所述多个导入口向所述喷射器内导入的所述处理气体的流量比变化。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN202210073169.4在审
  • 五十岚玲太 - 东京毅力科创株式会社
  • 2022-01-21 - 2022-08-02 - C23C16/455
  • 本发明涉及处理装置和处理方法,其能够调整针对基板的气体供给的面间均匀性。处理装置具备:处理容器,其具有大致圆筒形状;第1喷射器,其沿着处理容器的内壁内侧在长度方向上延伸设置,并具有在下端形成的第1导入口和在延伸设置的部分形成的多个第1气体孔;以及第2喷射器,其沿着处理容器的内壁内侧向上方延伸设置并在上部折返后向下方延伸设置
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理模块和处理方法-CN202111596530.3在审
  • 森淳;山岸孝幸 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-12-24 - 2022-07-08 - H01L21/67
  • 本发明涉及处理模块和处理方法。检测在处理容器内进行输送时的晶圆的位置偏移。处理模块具有处理容器、旋转臂和传感器。处理容器在内部具有多个处理空间,该多个处理空间各自的中心位于同一圆周上且分别配置有载置台。旋转臂具有多个保持部,该多个保持部能够保持分别在多个处理空间的载置台载置的晶圆,该旋转臂设为能够以圆周的中心为旋转轴线进行旋转。传感器位于相邻的处理空间之间,能够在旋转臂的旋转动作时检测被旋转臂保持着的晶圆的位置。
  • 处理模块方法
  • [发明专利]处理装置及处理方法-CN202080081664.9在审
  • 田岛诚司;茂木文雄;渡边年宏 - 富士胶片株式会社
  • 2020-11-18 - 2022-07-15 - G03F7/30
  • 本发明提供一种能够容易地再利用使用后的冲洗液,并且能够减少废液量的处理装置及处理方法。处理装置具有:显影部,具备使用含有清洗液的显影液去除图像状曝光后的柔版印刷版原版的未曝光部而进行显影的显影单元;冲洗部,具备向去除了柔版印刷版原版的未曝光部的显影后的柔版印刷版原版的至少表面供给实质上仅将水作为成分的冲洗液的冲洗液供给部
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置与处理方法-CN201410380576.5有效
  • 张钦富 - 禾瑞亚科技股份有限公司
  • 2014-08-01 - 2018-01-12 - G06F3/044
  • 本发明是有关一种处理装置与处理方法。该处理装置包含多个数字解调器与一个信息传送模块。每一个数字解调器用于产生相应于频率的同相与正交信号信息。该信息传送模块用于接收该多个数字解调器所产生的同相与正交信号信息,进行处理与传送。该处理方法包含同时进行多个数字解调步骤,每一个数字解调步骤用于产生相应于频率的同相与正交信号信息,以及接收该多个数字解调步骤所产生的同相与正交信号信息,进行处理与传送。
  • 处理装置方法
  • [发明专利]处理装置和处理方法-CN201410249883.X有效
  • 桐原和子;田岛幸夫 - 富士施乐株式会社
  • 2014-06-06 - 2020-05-08 - H04N1/00
  • 本发明提供了处理装置和处理方法。所述处理装置,包括:处理单元,其执行多个预定处理;显示单元;创建单元,其创建第一处理接收部分和第二处理接收部分,第一处理接收部分和第二处理接收部分中的每一个在显示单元上接收对多个预定处理中的任意一个的指令;以及执行部分,其在第一处理接收部分接收到指令的情况下,在再次接收到指令之后执行处理,而在第二处理接收部分接收到指令的情况下,无需再次接收到指令就执行处理
  • 处理装置方法

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