[发明专利]硅微热致动泵及其制造工艺无效
| 申请号： | 95117829.6 | 申请日： | 1995-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN1047432C | 公开（公告）日： | 1999-12-15 |
| 发明（设计）人： | 周兆英;杨岳;叶雄英;李勇 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F04B43/02 | 分类号： | F04B43/02 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 章瑞溥 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅微热致动泵，属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式，及双面驱动结构，所以作用力大，驱动电压低，结构简单，易于集成，制造方便。 | ||
| 搜索关键词： | 硅微热致动泵 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1、一种在硅薄膜片上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀的硅微热致动泵，其特征是用由单晶硅薄膜，铝薄膜组成的双金属层热致动原理工作，硅薄膜片为两片，在单晶硅薄膜和铝薄膜之间有加热元件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/95117829.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：仙人掌果汁及其制造方法
- 下一篇：一种用于上釉和装饰的旋转机器
