[实用新型]表面微观形貌超精激光测头无效
| 申请号： | 92225165.7 | 申请日： | 1992-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN2148311Y | 公开（公告）日： | 1993-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李鹏生;强锡富;于英满;张琢;赵慧杰;李华;甘敦文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型为亚微米级超精加工表面的非接触式微观形貌测量提供了一种超高精度的激光测头。它由激光器、反射镜、望远系统、分光镜、截距调节装置和光电接收器组成，激光束通过渥拉斯顿棱镜的分光，在工件表面上形成两个探测光点，采用相位比较的信号处理系统，测量分辨率比现有最高水平提高10％。该测头结构紧凑，使用方便，容易提高测量精度。它适用于航空航天、精密工程及微电子技术领域中超精密表面的测量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 微观 形貌 激光 | ||
【主权项】：
1、一种用于表面微观形貌测量的超精激光测头，其特征在于：由激光器(1)、反射镜(2)(4)、望远系统(3)、分光镜(5)、渥拉斯顿棱镜(6)、截距调节装置(7)、物镜(8)和光电接收器(9)(10)等组成测量装置；激光器通过支架固定在壳体(14)上；反射镜、望远系统和分光镜组成望远镜组件，该组件也通过支架固定在壳体(14)上；渥拉斯顿棱镜、截距调节装置和物镜等组成干涉组件，该组件通过花键孔用螺钉固定在壳体(14)上；
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