[实用新型]一种基板磨削组件和基板磨削装置有效
| 申请号： | 202320337567.2 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN219582397U | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 黄威;赵德文;刘远航;王江涛;路新春 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/047;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板磨削组件和基板磨削装置，所述基板磨削组件包括：支撑体，其上设置有竖向的基体通孔；旋转体，其同轴设置于所述基体通孔，旋转体的下部设置有磨削砂轮；所述旋转体包括芯轴、止推座和止推板，所述芯轴间隙设置于所述基体通孔中，所述止推座和止推板分别间隔设置于所述芯轴并位于所述支撑体的下侧和上侧；所述止推座的上表面与支撑体的下表面形成下部轴向间隙，所述止推板的下表面与支撑体的上表面形成上部轴向间隙；所述支撑体的内部设置有节流组件，所述节流组件包括一对节流器，所述节流器朝向所述上部轴向间隙和下部轴向间隙设置，其通过孔道与外部气源连通，以在轴向间隙之间形成稳定的气流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 组件 装置 | ||
【主权项】：
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