[发明专利]一种溅射钽靶材的回收利用方法在审
| 申请号： | 202310634519.4 | 申请日： | 2023-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN116657103A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;李桂鹏;袁玉博 | 申请（专利权）人： | 同创（丽水）特种材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 323010 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射钽靶材的回收利用方法，所述方法包括：去除所述溅射钽靶材的背板，得到钽靶坯；对所述钽靶坯进行平整处理和轧制处理；对所述钽靶坯进行酸洗热处理，冷却后进行机加工得到成品钽靶材。所述方法对回收的钽靶进行二次加工，生产周期短，无需增加额外的加工设备；提高材料利用率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 钽靶材 回收 利用 方法 | ||
【主权项】：
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