[发明专利]一种声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202310624711.5 | 申请日： | 2023-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN116566352A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 左成杰;邓泽南;刘京松 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨傥月 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本申请提供了一种声波谐振器及其制造方法，通过使用SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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