[发明专利]一种用于成膜装置的气体喷射装置

摘要

本发明公开了一种用于成膜装置的气体喷射装置，包括反应管，反应管的外侧壁沿长度方向设置有至少两个外管道，外管道上沿长度方向设置有若干贯通至反应管内部的第一喷射孔，第一喷射孔的孔径从反应管的内侧壁到外侧壁逐渐变小；外管道内设置有内管道，内管道用于通过反应气体，内管道上设置有与第一喷射孔逐一对应的第二喷射孔；歧管上设置有用于排出反应管内气体的真空端口，歧管的侧壁上设置有沿圆周方向延伸的预热管道。本发明将不同的反应气体隔绝，避免反应气体相遇形成杂质颗粒，气体通过第一喷射孔时呈锥形扩散，更好地覆盖在晶圆上，通过预热管道对反应气体进行预热，改善沉积效果，获得质量更好的膜。