[发明专利]一种叠层介电材料及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310255291.8 | 申请日： | 2023-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN116113243A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 孙佳;刘婉蓉;阳军亮 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | H10K10/46 | 分类号： | H10K10/46;H10K71/00;C23C14/08 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 汪金连 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种叠层介电材料及其制备方法与应用，属于有机电子器件技术领域。该材料具有三层或多层的氧化铪(H)/氧化锆(Z)/氧化铪(H)叠层介电结构；该方法通过依次溅射沉积一层氧化铪薄膜、一层氧化锆薄膜，如此反复溅射沉积；此外，该材料在有机晶体管中的应用，该有机晶体管包括自下至上依次设置的基底、介电层(该材料)、有机半导体层和源、漏电极。该有机晶体管的工作电压低，可以降低有机晶体管的亚阈值摆幅至理论物理极限值(甚至突破理论物理极限值)，制备的堆叠栅介质具有高K介电常数和优异的绝缘性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 叠层介电 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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