[发明专利]一种供电安全回路和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202310195528.8 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116317083A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 徐妍妍;李胜辉 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02J9/06 | 分类号： | H02J9/06;H02J3/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 杨柳苑 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种供电安全回路和半导体工艺设备，所述供电安全回路用于接入厂务进电和不间断电源，进行配电输出；供电安全回路包括供电模块处于闭合状态时，接入所述厂务进电进行配电输出；开关控制模块与所述供电模块连接，在处于闭合状态时，控制所述延时控制模块闭合；延时控制模块与所述开关控制模块和所述供电模块在处于闭合状态时，基于不间断电源所述控制所述供电模块闭合；且在所述厂务进电波动时，延时控制所述供电模块断开。通过本发明实施例可以在厂务供电出现短时异常情况时，保证供电回路的导通，保证整体设备的正常运行和工艺运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供电 安全 回路 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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