[发明专利]复用电极的电容式MEMS装置及其自检方法在审
| 申请号： | 202310132468.5 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116143067A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 威特•弗雷克;威廉姆斯•凯特;黄莉 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;G01C19/00;G01C25/00 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区自贸试验*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式MEMS装置及其自检方法。所述电容式MEMS装置包括：MEMS器件，其包括检测电容，所述检测电容包括第一电极、第二电极和质量块；检测电路；与第一电极耦接的第一开关电路；与第二电极耦接的第二开关电路。在自检的第一阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至第一电源端，第二开关电路将第二电极耦接至第二电源端；在自检的第二阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至所述检测电路的第一输入端，第二开关电路将第二电极耦接至所述检测电路的第二输入端，所述检测电路对第一电极和第二电极的信号进行检测并输出自检响应信号，基于所述自检响应信号确定所述MEMS器件是否功能正常。这样，不需要增加额外的自检电极就可以完成自检。 | ||
| 搜索关键词： | 用电 电容 mems 装置 及其 自检 方法 | ||
【主权项】：
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