[实用新型]一种微蚀刻药液循环系统有效
| 申请号： | 202223417582.2 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN218860593U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张涛涛;岳伟;杨夫舜;齐彦杰 | 申请（专利权）人： | 芜湖东信光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱圣荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中国（安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种微蚀刻药液循环系统，装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体，所述主槽体上方开口并置于溢流盘上，所述溢流盘通过回流管与副槽体连接，所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体，并向主槽体内注入药液。本实用新型可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环，超薄玻璃出主槽体时自动开启药液循环，满足批量蚀刻时药液的循环要求，同时对超薄玻璃的面蚀刻过程无恶化影响，产品可以大规模投产，保证良好的制程稳定性，而且系统结构简单，装备成本低，且工作安全、温度可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 药液 循环系统 | ||
【主权项】：
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