[实用新型]一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置有效
| 申请号： | 202223153804.4 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN218860874U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 左玉;韩文静;刘联军;盛沛沛;徐保海;樊宁霞 | 申请（专利权）人： | 西安航空制动科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/26;C04B35/83 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 秦媛媛 |
| 地址： | 710075 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于碳基复合材料的制造技术领域，尤其涉及一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置。包括：等压化学气相沉积炉，在所述等压化学气相沉积炉上设置有进气管道和抽气管道；所述等压化学气相沉积炉内部放置实心碳碳复合材料产品，在靠近抽气管道一端的实心碳碳复合材料产品上设置碳碳盖板。克服等压化学气相沉积过程中存在的沉积效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 等压 化学 沉积 工艺 效率 装置 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
