[实用新型]一种载物台

摘要

本实用新型提供一种载物台，包括底座，承接部设置在底座上，载台设置在承接部上，环形支撑部设置在载台上，环形支撑部包括设置在载台上的支撑板，支撑板上设有若干组直径不同的通孔和设于通孔内壁的承载件，承载件用于承载晶圆，承接部包括驱动滑台，驱动滑台设置在底座上，驱动滑台上设置有滑动组件，驱动滑台用于驱动滑动组件进行滑动，滑动组件包括第一滑台和第二滑台，第一滑台滑动设置在驱动滑台上，第二滑台滑动设置在第一滑台上，第一滑台滑动方向与第二滑台滑动方向相互垂直。本实用新型中的载物台，解决了现有技术中，在需要对晶圆进行检测时，需要不同尺寸的载物台承载不同尺寸的晶圆。