[实用新型]一种制备半导体用超纯氨的装置有效
| 申请号： | 202220370536.2 | 申请日： | 2022-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN216946234U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 江罗;杨涛;杜大艳;方强;曹小林;焦文艺 | 申请（专利权）人： | 湖北和远气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人： | 林琳 |
| 地址： | 443500 湖北省宜昌市长阳土家族自*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种制备半导体用超纯氨的装置，所述装置包括依次连通的汽化单元、用于脱硫脱水的预处理单元、脱轻单元、脱重单元和用以除水、氧和金属的后纯化单元，及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统；所述装置可便捷高效地除去水、氧及金属等杂质获得超纯氨；此外供热系统的介质既提供热源，又提供冷源，实现连续化节能生产；高低沸点组分的脱除可作为工业氨回收利用，无废气排放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 半导体 用超纯氨 装置 | ||
【主权项】：
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