[实用新型]原位清洁PLD电化学表征系统有效
| 申请号： | 202220285592.6 | 申请日： | 2022-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN217112167U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 陈迪;赵云;许建兵;苏虹阳;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了原位清洁PLD电化学表征系统。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备。该系统将电化学工作站集成到PLD设备中，不仅能够精确制备结构致密且界面清晰的超清洁薄膜图案电极，还能够原位精确地对样品进行在不同气氛和不同湿度下的性能测试和表征；此外将脉冲激光沉积(PLD)腔室和真空手套箱连接起来，能够维持样品表面高的洁净度，为后续其它性能表征提供高洁净度的样品，提高测试的准确性。由此，对理解器件失效原因和性能提升以及器件的工业生产和应用具有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 清洁 pld 电化学 表征 系统 | ||
【主权项】：
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