[发明专利]带电粒子束装置及其控制方法在审
| 申请号： | 202211655238.9 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN116110767A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 罗浒;张旭 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/22;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 潘一诺 |
| 地址： | 201702 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带电粒子束装置及其控制方法，带电粒子束装置包括：粒子源，用于释放带电粒子束；显微镜柱，包括：物镜，用于对所述带电粒子束进行聚焦；成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；运动台，用于承载并带动所述样品运动；控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和/或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。本申请实现带电粒子束装置的自动聚焦和/或带电粒子束装置及样品保护。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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