[发明专利]一种曲面随机金属网栅的制作方法有效

专利信息
申请号: 202211551452.X 申请日: 2022-12-05
公开(公告)号: CN115811878B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 张振雲;马远飞;薛丽青;林泉;尚鹏;麻皓月;刘晓华;石红春 申请(专利权)人: 有研新材料股份有限公司;有研国晶辉新材料有限公司
主分类号: H05K9/00 分类号: H05K9/00;H01B13/00
代理公司: 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 代理人: 张新利
地址: 100088 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及电磁屏蔽实现方法,具体公开一种曲面随机金属网栅的制作方法。所述方法包括:在曲面基底表面上镀制金属膜,其中所述金属膜自所述曲面基底依次为钛膜和铜膜;采用飞秒激光在上述镀有钛膜和铜膜的曲面基底聚焦,在所述钛膜和铜膜上按照预设的随机图案进行至少两次扫描刻蚀,其中所述飞秒激光经过光束整形系统,使激光光束能量分布由高斯形状转变成平顶形状;将上述刻蚀后的曲面基底进行清洗,得曲面随机金属网栅。通过本方法可制备曲面电磁屏蔽金属网栅,同时通过随机图案的设计,减小高级次杂散光对成像质量影响,本方法操作简单,可实现大规模工业生产。
搜索关键词: 一种 曲面 随机 金属网 制作方法
【主权项】:
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