[发明专利]一种电子源灯丝组件的加工装置和加工方法在审
申请号: | 202211424110.1 | 申请日: | 2022-11-14 |
公开(公告)号: | CN115642067A | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 柯银环;董鹤鹏;邵倩倩;邬大龙;梁晶;朱勇波;魏志猛;唐爱权;吕绍林 | 申请(专利权)人: | 苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司 |
主分类号: | H01J9/06 | 分类号: | H01J9/06;H01J9/04;H01J1/16;H01J1/15 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 倪焱 |
地址: | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种电子源灯丝组件的加工装置和加工方法。电子源灯丝组件的加工装置包括,腔体,电子源灯丝连接座,抑制极,抑制极设置有第一开孔和第二开孔,电子源灯丝组件的针尖通过第一开孔探出。吸出极,吸出极设置有第三开孔和第四开孔,第三开孔与电子源灯丝组件的针尖相对设置。气体供应模块,真空度检测模块,气体抽取模块,荧光屏,法拉第杯,观察窗。通过本发明实施例的加工装置,或者使用本发明实施例中的加工方法,可以在安装电子源灯丝组件并抽真空后一次性进行阴极尖高温比色工艺、氧化工艺和塑型工艺这三个工艺。无需反复多次安装和抽真空操作,从而减少加工工序,降低加工成本,缩短加工工时。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 灯丝 组件 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
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