[发明专利]一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件在审
| 申请号： | 202211369341.7 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115663592A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞;王青;赵东;于庆南;张黎可;李晓东;胡长雨;曹燚;任乐;李睿 | 申请（专利权）人： | 无锡学院 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/20;C23C16/40;C23C16/56;C30B25/16;C30B29/30;C30B29/40;C30B29/42;C30B31/22;C30B33/02;H01S5/32;H01S5/34;H01S5/343 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 彭晓勤 |
| 地址： | 214105 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件，包括DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列和砷化镓衬底，DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列分别置于砷化镓衬底上，利用晶圆键合技术将DFB激光器键合到砷化镓衬底上，确保DFB激光器的输出光高度与铌酸锂光波导匹配；每个铌酸锂光波导都有一个DFB激光器进行泵浦。本发明通过晶圆键合和离子注入技术实现在砷化镓衬底上集成多个DFB激光器和多个铌酸锂光波导，该光子器件通过稀土离子的能级跃迁输出不同波段的激光，实现多种波长的混合输出和多模动态的防伪效果。同时，该光子器件结构紧凑，集成度高，能够实现高效的光子器件集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 泵浦铌酸锂光 波导 波长 混合 集成 光子 器件 | ||
【主权项】：
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