[发明专利]一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺在审
| 申请号： | 202211360190.9 | 申请日： | 2022-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN115533666A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 郑嵩 | 申请（专利权）人： | 菲特晶（南京）电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06;B24B55/00;B24B55/06;B24B47/12;B24B47/22;B08B1/02 |
| 代理公司： | 南京汇业佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32708 | 代理人： | 朱军 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶片圆边装置，包括：主体单元，其包括支撑板以及对称设置在支撑板两侧壁两端的侧板，所述支撑板下侧壁固定连接有位置对称的支撑架，其中一个所述侧板固定安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴固定连接有第一压盘，另一个所述侧板转动连接有空心筒，所述空心筒靠近驱动电机输出轴的一端设置有与第一压盘对应的第二压盘，两个所述压盘之间共同压紧有石英晶片，所述石英晶片正上方设置有匹配的圆边辊。本发明通过对石英片边缘处打磨较为均匀，且打磨效率较高，打磨后石英晶片在经过清洗罩的时候，实现对石英晶片的清洗，集打磨清洗于一体，简化了工艺，缩减了来回转运石英晶片所需要的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶片 装置 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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