[发明专利]微机电挡片及其制备方法、图像传感器组件及其制备方法、图像传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202211216974.4 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115567777B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 蒋康力;丁金玲;刘建华 | 申请（专利权）人： | 杭州海康微影传感科技有限公司 |
| 主分类号： | H04N23/667 | 分类号： | H04N23/667;H04N23/50;B81B7/02;B81C1/00;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 311501 浙江省杭州市桐*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开一种微机电挡片及其制作方法、图像传感器组件及其制作方法、图像传感器及其制备方法，涉及视频处理领域，用于减小图像传感器的尺寸，并提高图像传感器的工作效率。所述微机电挡片包括挡片层，所述挡片层包括微机电结构图案；所述微机电结构图案包括：具有开口的支撑结构图案；遮挡部分所述开口的挡片结构图案；以及，连接在所述支撑结构图案与所述挡片结构图案之间的致动结构图案；所述挡片结构图案的包括间隔设置的多条挡光条，所述挡光条用于遮光，相邻的两个所述挡光条之间的间隔区域用于透光。微机电挡片用于控制红外辐射信号的透过。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电挡片 及其 制备 方法 图像传感器 组件 制作方法 | ||
【主权项】：
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