[发明专利]一种带夹具的钛蚀刻双极板工件放置基板在审
| 申请号： | 202211187735.0 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN115558929A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 谢金发 | 申请（专利权）人： | 深圳市金泉益科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 东莞卓诚专利代理事务所(普通合伙) 44754 | 代理人： | 李捷 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带夹具的钛蚀刻双极板工件放置基板，用于固定双极板工件，包括承托部和夹持部，所述夹持部共四组分别固定连接在承托部上端面四角；所述承托部包括底座，所述底座间隔设置有若干组气槽，所述底座一侧开设有进气槽，所述底座内部开设有分流道，所述分流道底部一侧开设有缓速流道，所述分流道内壁开设有与气槽数量相等的气流道，所述底座一侧开设有进气槽，本发明通过进气槽通过气管外接有气泵，气体会从若干组气槽喷出吹到四组夹持部固定的双极板工件下部，气体的冲击力可对工件自身的重力弯曲进行补偿，使双极板在蚀刻时保持水平；通过夹持部可使工件夹持稳固的同时与工件有着很小的接触面，有效降低工件接触面的蚀刻瑕疵。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 蚀刻 极板 工件 放置 | ||
【主权项】：
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