[发明专利]原子探针断层分析的样品及其制备方法、芯片在审

专利信息
申请号: 202211176543.X 申请日: 2022-09-26
公开(公告)号: CN115840062A 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 徐高峰;王欣 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G01Q30/20 分类号: G01Q30/20;H01L23/544
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 赵倩
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本公开实施例提供一种原子探针断层分析的样品及其制备方法、芯片。该制备方法包括:提供基底,基底具有阵列区和外围区;在阵列区执行第一半导体工艺,以形成第一半导体结构,在外围区同步执行第一半导体工艺中形成第一半导体结构的材料的工艺,在外围区形成堆叠的材料层;提取材料层并进行处理,保留待测材料层,形成样品。本公开实施例制备的样品,材料分布均匀,降低制备难度,简化工艺,提高了样品的完整性及表面的光洁度,提高了测试结果的准确度。
搜索关键词: 原子 探针 断层 分析 样品 及其 制备 方法 芯片
【主权项】:
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  • 蒋丽梅;陈强;姜杰;廖佳佳;刘文燕 - 湘潭大学
  • 2019-12-03 - 2022-12-16 - G01Q30/20
  • 本发明公开了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法,包括:将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配,形成弯曲服役柔性铁电薄膜;将弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配,形成双重服役柔性铁电薄膜;将双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配,形成多重服役柔性铁电薄膜;利用PFM检测多重服役柔性铁电薄膜的性能。本方法采用PFM作为观测手段,操作方便,可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能,为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段;将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用,使仪器既可以在高温下,又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能,为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供实验依据。
  • 一种钨合金透射电镜样品的制备方法-202110812953.8
  • 陈文龙;石常亮;孙大翔;肖晓玲;李扬;周明俊;郭鲤 - 广东省科学院工业分析检测中心
  • 2021-07-19 - 2022-12-13 - G01Q30/20
  • 本发明提供了一种钨合金透射电镜样品的制备方法,将浓度为100g/L~200g/L的NaOH溶液作为双喷电解液,在电解电压为10V~25V,电解液温度为‑10℃~5℃的参数条件下进行电解双喷减薄。通过优化双喷电解液以及相应的工艺参数,能快速制备出表面光亮、薄区较大且厚度均匀高质量的钨合金透射样品,适合用于透射电镜观察,有助于获得显著的透射电子显微镜实验结果和高质量图片,以便获得钨合金的结构特征;另外,本发明双喷电解液配置简单,钨合金透射样品的配置周期短,有助提高效率。
  • 用于扫描电镜的岩石样品制备方法及系统-202211063482.6
  • 李龙生;董虎;姚鹏飞;吴国强;刘月宁;魏铭江;杨武 - 数岩科技股份有限公司
  • 2022-08-31 - 2022-12-02 - G01Q30/20
  • 本公开实施例提供的用于扫描电镜的岩石样品制备方法,包括:对岩石进行机械研磨抛光处理;对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理;对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理,获得岩石样品;其中,所述岩石样品用于扫描电镜。这里,通过先对岩石进行机械研磨抛光再进行氩离子抛光处理,相较于仅对岩石进行单一方式的抛光处理,可以获得岩石观察面更加平整光滑、在扫描电镜下孔隙清晰的岩石样品,提高了扫描电镜对岩石样品的观察研究效果。
  • 一种环境气氛电镜原位加热和原位通电样品的制备方法-202110768286.8
  • 张振宇;刘冬冬;刘伟;史淑艳;于志斌 - 大连理工大学
  • 2021-07-07 - 2022-10-28 - G01Q30/20
  • 本发明提供了一种环境气氛电镜原位加热和原位通电样品的制备方法。先利用聚焦离子束沉积一层1‑2μm的保护层,然后用较大束流减去目标样品周围多余的材料,得到一个微米片,在不转移目标样品的前提下继续用低束流进行样品减薄直至样品厚度为100‑200nm;将样品转移到机械手上,用较低的束流和电压在机械手上进行精减薄使其厚度达到50‑70nm,最终转移到芯片上的一种样品制备的方法。本方法可以在不损伤芯片,保证芯片的气密性的前提下,制备具有高分辨率,低损伤,薄度良好的环境透射样品。本发明是一种不损坏芯片的原位环境芯片的制备方法。
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