[发明专利]一种片状锡基钙钛矿薄膜结构制备方法

摘要

本发明涉及光电材料与器件技术领域，具体为一种片状锡基钙钛矿薄膜结构制备方法，通过改变组分、沉积时间、沉积温度等参数来控制薄膜的均匀性、结晶质量和膜厚，同时薄膜与衬底附着性好且避免铅带来的环境和人体健康危害；包括如下步骤，步骤一、将先驱物碘化亚锡(SnI2)与碘甲脒(FAI)以等摩尔比例混合，在玛瑙研钵中进行充分的研磨，混合均匀；步骤二、将研钵中的粉末取出，放置于石英槽中，将石英槽放置于石英管内的高温区域；步骤三、将导电玻璃衬底放置在特定的支架中；步骤四、将石英管密封，用机械泵对石英管进行抽真空；步骤五、设置加热程序，从室温加热到设定温度时间为30分钟，反应的时间为60分钟。