[发明专利]一种基于剪切增稠效应的抛光系统及其工艺方法在审
| 申请号： | 202211084007.7 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115502880A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 吴永宝;蒋伟峰;马毅;赖政业;宋宇轩;高增梁 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B31/10 | 分类号： | B24B31/10;B24B31/12;B24B1/04 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 巩延亮 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于剪切增稠效应的抛光系统及其工艺方法，所述系统包括工作台、控制台、移动调节机构、抛光装置，移动调节机构包括相互组装固定的导轨固定块、丝杆导轨、曲柄连杆机构以及延伸梁，曲柄连杆机构的下方安装有振动头，振动头在移动调节机构的作用下，实现纵向和横向方向的定位移动，振动头位于抛光装置的抛光盘内，抛光盘内用于盛放抛光液，样品位于振动头的下方，在抛光装置及移动调节机构的作用下，局部抛光液发生剪切增稠效应，实现高效抛光。本发明设计巧妙，结构合理，使用方便，可以实现在抛光过程中，通过曲柄连杆机构对抛光区域抛光液提供振动频率和振幅可控的振动，达到剪切增稠效应，实现高效可控的精密抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 剪切 效应 抛光 系统 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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