[发明专利]一种用于制作薄膜传感器的压印模具、加工工艺及薄膜传感器在审
| 申请号： | 202210929316.3 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115312657A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 冉小龙;廖成;罗坤;何绪林;叶勤燕;郑兴平 | 申请（专利权）人： | 中物院成都科学技术发展中心 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/333;H01L41/35;G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京麦宝利知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11733 | 代理人： | 张雅莉 |
| 地址： | 610200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜传感器技术领域，尤其涉及一种用于制作薄膜传感器的压印模具、加工工艺及薄膜传感器，所述压印模具包括模具本体，所述模具本体上设压印部，所述压印部包括压印面和形成在所述压印面上的环形压印槽；所述压印面用来压印形成所述薄膜传感器的绝缘保护层，所述环形压印槽用来压印形成所述薄膜传感器的掩膜环。本发明解决了现有的薄膜传感器生产效率低、工艺成本高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制作 薄膜 传感器 压印 模具 加工 工艺 | ||
【主权项】：
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