[发明专利]一种纳米压印拼板方法及设备在审
| 申请号： | 202210922959.5 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115097692A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 陈振浩;李晓军 | 申请（专利权）人： | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 沈闯 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种纳米压印拼板方法及设备，涉及微纳米压印技术领域，其中方法先获取模板上的第一标记以及用于支撑模板的底座上的第二标记，再基于获取的标记信息带动模板相对于底座转动，直至第一标记与第二标记满足第一预设关系，以使得模板完成自我校准，从而使得拼接的图形之间所需要的角度关系能够得到很好的满足。再带动模板整体运动和/或带动基板整体运动，以使得模板与基板上的目标压印位置对准，之后再带动模板往朝向基板的方向运动和/或带动基板往朝向模板的方向运动，以使得模板与基板相贴合进行压印。通过上述这一方法设计，能够实现高精度的拼板压印作业，而且加工周期短、加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 拼板 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院，未经广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210922959.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
