[发明专利]一种红外探测器焦面检测系统、方法在审
| 申请号： | 202210847949.X | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115355839A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张璐;付志凯;刘伟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01M11/02 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 焉明涛 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请的实施例揭示了一种红外探测器焦面检测系统、方法，操作便捷，能够准确获取待检测红外探测器焦面的Z向高度，避免了人眼测试误差，从而实现对探测器热失配程度进行定量表征，测试精度高，在一些示例中，所述抽真空泵、制冷机以及温度监测装置设置在底座上，所述底座与所述基准大理石底座不接触，进而规避了制冷机、真空泵带来的振动对待检测红外探测器焦面的影响，进一步的提升了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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