[发明专利]材料中不同种类空位缺陷的识别和统计方法在审
| 申请号： | 202210768357.9 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115171797A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李兴冀;荆宇航;杨剑群;徐晓东 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G16C10/00 | 分类号： | G16C10/00;G16C60/00 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 丁晴晴 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种材料中不同种类空位缺陷的识别和统计方法。属于模拟技术领域。所述方法包括建立与材料对应的体系模型；设定模拟参数，利用分子动力学方法对所述体系模型进行缺陷演化模拟计算；获取缺陷演化过程直至缺陷演化完成后的各体系结构，并获取所述体系结构中的空位缺陷及其坐标信息；利用团簇分析法将所述空位缺陷划分为不同种类的空位团簇；统计同一种类所述空位团簇的数目，根据各体系结构中空位团簇的信息，得到不同种类空位缺陷随时间演化的关系。本发明可以直观且准确的表征出半导体材料受辐照后材料中各类空位缺陷的存在情况，且方法逻辑清晰，步骤简单、易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 不同 种类 空位 缺陷 识别 统计 方法 | ||
【主权项】：
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