[发明专利]一种磷化钛薄膜及其原位制备方法

摘要

本发明属于功能薄膜材料领域，具体涉及一种Ti3P薄膜及其制备方法。首先采用液相等离子放电技术在含有磷酸盐的电解液中将Ti片表面氧化成含有P的二氧化钛氧化物薄膜，然后再通过高温退火的方法使P与二氧化钛薄膜反应生成Ti3P薄膜。这种方法工艺简单，易于操作，更重要的是可以在钛金属基底表面直接原位制备出亚稳相的Ti3P薄膜，并且方法可以重复。本发明的Ti3P薄膜结晶度高、纯度高、薄膜质量好，是Ti‑P二元系材料家族中重要一员。本发明制备的Ti3P薄膜制备工艺简单，薄膜质量高，重复性好，有望在不同领域进行实际应用。